洁净室教程详解.pptVIP

洁 净 室 介 绍 目录 洁净室的定义 洁净室的由来 洁净室的等级 洁净室的计算 洁净室在颀中的应用 洁净室的定义 洁净室为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、靜电控制在某一需求范围内，而给于特別设计的房间以符合制程工艺之需求 洁净室的等级 空气洁净度：洁净空气中含尘量多少的程度（即含尘浓度）,含尘浓度高则洁净度低， 含尘浓度低则洁净度高。 等级划分: 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） (以单位体积空气中大于等于0.5um粒径的粒子个数直接命名) 日本JISB9920标准 (以单位体积空气中大于等于0.1um粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名为洁净度等级) 被控制的含尘浓度的具体规定 1、何状态下的含尘浓度 动态、静态、空态 2、何范围内的含尘浓度 离地0.8~1.5m高的区域。 洁净室的计算 当按洁净级别划分时，换气次数为：