换瓶简明手册-SiH4+SiH2Cl2半自动.docVIP

SiH4+SiH2Cl2 GC（半自动） SiH4换瓶操作流程换瓶前吹扫 确认钢瓶 关闭气体输送隔离阀LPI (L1/L2) □，关闭气体钢瓶瓶口阀 □，确认HPI 开启状态 □，打开PNBV阀，PLPI阀，确认PG(P)吹扫氮气压力为80～90psi； （注：调压阀保持原有调压状态即可） 打开真空发生器GNBV阀抽真空，真空压力表VPG达到足够负压；(因为此压力表无负压标识段，请在打开GNBV阀时观察表针动向，有向下动向即可) 高压排放 打开压排放阀PV(L) 1秒后关闭，高压管路内残余气体； 确认高压表HPG和低压表LPG都达到足够负压 （LPG指针应在标识的25inch H20之下）， 关闭LPV(L)； （因SiH4排放时为燃烧处理，此处排放时，为纯SiH4气体排放，需少量多次排放，可使Scrubber更好的处理，进一步保证排放的安全） 一次吹扫（前吹） 打开吹扫氮气隔离阀PGI待(HPG、LPG)压力稳定后关闭； 打开排放阀秒后关闭，高压表HPG和低压表LPG都达到足够负压； 重复5-6步骤20次 。（最后关闭GNBV）； 负压保压 记录HPG显示的负压值，观察分钟HPG无压升 二次吹扫（前吹） 关闭HPI气动阀，打开GNBV 打开吹扫氮气隔离阀PGI待HPG压力稳定后关闭； 打开高压排放阀HPV秒后关闭，高压表HPG达到足够负压 重复-11步骤次 。（最后关闭GNBV） 打开吹扫氮气隔离阀PGI，关闭PNBV, 使少量氮气可以从钢瓶盘管口流出 拆卸钢瓶 握紧CGA螺栓，使用合适的扳手松下CGA螺帽； 从瓶口阀上完全卸下钢瓶盘管； 装上钢瓶瓶口阀的保护螺帽； 在钢瓶上贴上“空瓶”标签，将钢瓶移开，转移到空钢瓶储存区； 安装钢瓶 确认即将安装的钢瓶为需要的钢瓶，且接口形式与面板预留盘管上钢瓶接口能够配合，将气瓶移到气柜内，并确认钢瓶瓶口阀位置与接管位置合适； 确认钢瓶瓶口阀绝对关紧，除下瓶口阀的防护螺母； 检查瓶口阀出口端是否有污物或破损，绝对不可使用出口端有污物或破损的钢瓶； （若出现该问题，更换该钢瓶并且贴上标签，标志出所出现的问题） 更换一个新的垫片，用手将CGA螺栓和螺帽拧紧； 用合适的扳手将CGA螺栓和螺帽拧紧； 换瓶后吹扫 打开PNBV待压力稳定后关闭PGI； （GNBV打开状态，确认VPG达到负压值）打开高压排放阀HPV秒后关闭排放阀HPV，排放钢瓶盘管段残余气体。 次吹扫（后吹） 重复10~11步骤20次 关闭PNBV，关闭PLPI后，打开PHPI，确认PG(P)压力大于800psi； 打开吹扫氮气隔离阀PGI，压力稳定后（需要在800PSI以上）关闭PGI； 关闭 Pigtail保压（后吹） 压力稳定20分钟后，记录HPG压力值； 正压保压 观察HPG 24小时，检查是否有压力损失；如果无压降，保压通过； 四次吹扫 打开GNBV，依次打开HPV，打开PGI将PG(G)压力排完； 依次关闭PGI，关闭HPV，打开PNBV，打开PLPI； 重复10~11步骤20～40次；（最后状态HPG为负压） 确认阀门状态： PGI关闭，HPV关闭， PNBV关闭，PLPI关闭，GNBV关闭； 送气（待命） 缓慢打开钢瓶瓶口阀，确认HPG压力增至1000psi左右； 按下控制箱面板 HPI (OFF)按钮；（按下后，确认按钮灯为不亮状态） 按下控制箱面板 HPI (ON)按钮；（正常按钮灯亮由不亮变亮，为保持开户状态） 确认LPG压为为供应压力（如需要可调压调压阀），打开LPI； 按下”Reset”按钮，复位报警状态； 完成送气； 注： 注意调压阀不被人误动（可观察调压阀手柄高度），否则可能会引起切换后不能正常供气。送气后注意观察送气压力LP是否在设定范围。 Page 2/2 Page 1/2