eetopcn_版图的匹配和抗干扰设计详解.pptVIP

版图设计准则(‘Rule’ for performance) 匹配 抗干扰 匹配设计 在集成电路中，集成元件的绝对精度较低，如电阻和电容，误差可达±20%~30% 由于芯片面积很小，其经历的加工条件几乎相同，故同一芯片上的集成元件可以达到比较高的匹配精度，如1%，甚至0.1% 模拟集成电路的精度和性能通常取决于元件匹配精度 匹配设计 失配：测量所得的元件值之比与设计的元件值之比的偏差 归一化的失配定义： 设X1, X2为元件的设计值，x1, x2为其实测值，则失配δ为： 匹配设计 失配δ可视为高斯随机变量 若有N个测试样本δ1, δ2, …, δN，则δ的均值为： 方差为： 匹配设计 称均值mδ为系统失配 称方差sδ为随机失配 失配的分布： 3δ失配： | mδ |+3 sδ 概率99.7% 匹配设计 失配的原因 随机失配：尺寸、掺杂、氧化层厚度等影响元件值的参量的微观波动(fluctuation) 随机失配可通过选择合适的元件值和尺寸来减小 系统失配：工艺偏差，接触孔电阻，扩散区相互影响，机械压力，温度梯度等 系统失配可通过版图设计技术来降低 匹配设计 随机统计波动 (Fluctuations) 周围波动(peripheral fluctuations) 发生在元件的边沿 失配随周长的增大而减小 区域波动(areal fluctuations) 发生在元件所覆盖的