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二、晶面晶向 晶向：（100）、（110）面可生长光滑平整的外延层，而（111）面生长光滑的外延层很困难。因为（111）面上不包含有原子台阶，固有不稳定性。导致外延层具有棱锥形或平台结构，需偏离（111）晶向，向最邻近的110方向偏2. 50士0. 50或4±0.5?。 （100）晶向不需偏离，0.0士0. 5 ? 二、晶面晶向 MOS器件使用100晶向：因为MOS器件是表面器件，而100晶向的表面态最低，能够减少表面态对加偏压时导电沟道的影响，使阈值电压稳定 。 二、晶面晶向 双极晶体管和肖特基使用111晶向： 如果p-n结是通过热扩散来制作的，那么为了保证结面平坦（以提高击穿电压等性能），特别是对于双扩散BJT，还为了保证基区宽度很小（但又不能穿通），就更加需要结面平坦（因为基区宽度就是两次扩散p-n结的深度之差），则就要求杂质原子往半导体体内的扩散运动尽量在距离上的分散性很小。而热扩散是杂质原子在无规热运动基础上的一种定向运动，扩散时间越长，扩散深度越大，原子扩散距离的分散性就越大，则所得p-n结结面的平坦性也就越差。因此，为了获得平坦的p-n结结面，就需要考虑两个方面的问题：①衬底片上原子的分布要均匀。对于Si晶体，在(111)晶面上的原子分布最均匀（每一个原子的周围都有六个原子，按照正六边形分布），所以Si双极型器件常常是采用(111)晶面的衬底片。②扩散时间要短，或者说扩散深度要浅，这就可以减小原子热运动所造成的距离分散性。为达到此目的，就需要采用所谓浅结扩散技术。也因此，对于制作基区宽度很窄的高频、高速和微波BJT，浅结扩散技术是必不可少的一项关键工艺技术。 谢谢！ 晶体学简介 河北普兴电子科技股份有限公司技术部 2015-09 主要内容 晶体的概念 晶面晶向 一、晶体的概念 1、晶体结构与空间点阵 空间点阵：在晶体构造中质点（原子、离子、分子集团）分布和排列的阵式（或空间格子）。 结点（又叫阵点）：质点的中心位置称为晶格的结点。点阵中结点仅有几何意义，并不真正代表任何质点（晶体格子只是一种几何图形）。 晶体格子：把晶体中质点的中心用直 线联起来构成的空间格架即晶体空间 格子，简称晶格，如图。 一、晶体的概念 2、空间格子的规律 a.结点：晶体构造中化学性质、周围环境及几何方位完全一样的几何点（或等同点，相当点：两个条件） b.行列（直线点阵）：空间格子中排列在任意一条直线上的结点，构成空间格子的行列，又称为直线点阵。平移群：Im=ma (m=0, ±1…)特点：由于结点在行列上周期性重复出现，因此同一行列上结点间距是相等的。在互相平行的行列上结点间距也是相等的。在互不平行的行列上，一般不等。 一、晶体的概念 c. 面网（平面点阵）：空间格子中结点在同一平面上排列，称为空间格子的面网，又称为平面点阵。如图.平移群：Imn=ma+nb (m,n=0, ±1…) 面网密度:同一层面网的单位面积内拥有的结点的数目,称为面网密度.其与配位数的关系。 面网间距:两层互相平行的相邻两层面网之间的垂直距离,称为面网间距. 一、晶体的概念 特点： 任意不在同一条直线上排列的三个结点就构成一层面网。因此,任意一个空间格子内都有无数多个互不平行的面网存在。 （从图中我们可以看到） 同层面网的不同部位的面网密度是相等的,且互相平行面网的面密度一般相等,互不平行的面网密度一般不等。 面网密度越大,俩个互相平行的面网间距也就愈大.反之,亦然。 一、晶体的概念 d.平行六面体（空间点阵）： 结点在三维空间排列呈平行六面体状分布，又称为空间点阵。如图。平移群：Imnp=ma+nb +pc(m,n,c=0, ±1…) 单位平行六面体：晶体的空间格子内，只有一种能反映晶体构造规律和基本性质的平行六面体。 特点： 空间格子内有无数多种不同形状和取向的平行六面体，而一个晶体构造中单位平行六面体只有一种。 平行六面体是空间格子的基本体积单位， 是从实际晶体构造中抽象出来的立体几 何图形。 根据单位平行六面体中结点位置不同分： 简单格子（素格子）和复杂格子 一、晶体的概念 e. 晶体中质点排列具有周期性和对称性 晶体的周期性：整个晶体可看作由结点沿三个不同的方向按一定间距重复出现形成的，结点间的距离称为该方向上晶体的周期。同一晶体不同方向的周期不一定相同。可以从晶体中取出一个单元，表示晶体结构的特征。同一空间点