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电子行业超纯水系统 简? ? 介： 电子行业对水中的离子含量要求非常高，本系统采用先进的反渗透技术，结合尖端的EDI，混床技术，使产水水质最高可达18.25兆欧，水质符合美国ASTM标准。目前我国电子工业部把电子级水质分为五个行业标准，分别为18MΩ?cm，15MΩ?cm，10MΩ?cm，2MΩ?cm和0.5MΩ?cm，以区分不同水质 技术参数： 产水水质：水质符合美国ASTM标准，电子工业部超纯水水质标准18MΩ?cm，15MΩ?cm，10MΩ?cm，2MΩ?cm和0.5MΩ?cm五级 产水水量：0.5-100T/H 材? ? 质：玻璃钢 不锈钢 有机玻璃等 工艺流程： 1、预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象 2、预处理→一级反渗透→加药泵（ PH调节）→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象 3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象 4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象 主要特点： *该系统一切动作均在预设程序下自动进行，具备全自动功能。 *系统结构布置紧凑，有效节约空间。 *系统能耗低，制水成本低廉。 *系统运行安全可靠，供水管路封闭，出水水质稳定。 适用范围： 生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统传统的纯水方法不能制备出超纯水，化学意义上纯水（液态的H2O）的理论电导率为18.25MΩ.cm。人们生产的纯水是达不到理论值的，但18 MΩ.cm似乎是可以达到的，对于这种水，有的称为高纯水，有的称为超纯水，目前还没有系统的定义。也没有划分等级界限，从商业观点看叫超纯水似乎比高纯水更好听一些。笔者以为还是看电导率指标更准确一些。? ? 现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来，不仅能生产超纯水，而且变得非常容易。目前市售的超纯水器就是一个成功的例子。自来水进去超纯水出来，非常方便。而且使用寿命也越来越长。? ???超纯水器制备超纯水的原理和步骤大体如下：? 1.原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。? ? 2.机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。? ? 3.活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等；吸附细菌和某些过滤金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。? ? 4.反渗透膜过滤：可滤除95％以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。出于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。? ? 5.紫外线消解：借助于短波（180nm-254 nm）紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。? ? 6.离子交换单元：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解，不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。所谓“核工业级树脂”大概就属于这一类树脂。对树脂的要求是质量越高越好。可惜国内很少有人在这方面下功夫，满足于生产大路线。? ? 7.0.2μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物道每毫升1个（小于0.2μm的口经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。应能满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等的要求，接近或达到电子级水的要求。活性炭过滤器吸附市政自来水中的余氯，以避免对树脂和反渗透膜造成不可逆转的损坏。用活性炭进行吸附处理。活性炭不仅吸附能力强，而且吸附容量大，其主要原因就是其多孔结构，其比表面积达500~700平方米/克。因此可以完全吸附水中的余氯及部分吸附有机物，而且对色度、臭味也有较好的去除效果。二、 脱气塔脱气塔在纯水中是为了除去二氧化碳气体而设的，以免对后续RO膜造成伤害。脱气塔里面添有一定高度的直径为50mm的多面塑料空心球，当纯水从管道中以一定流速流至脱气塔里时，经过这些空心球时，被分散成细小水粒，流速减小，加上鼓风机从脱气塔底部鼓入空气，二氧化碳则有充分的时间脱离脱气塔。用鼓风脱气方式除去水中游离二氧化碳的设备，水自设备上部引入，经喷淋装置喷洒开，流过表面积大的填料，空气自下部风口进入逆向穿过填料层，水中的游离二氧化碳迅速地析出进入空气中，自顶部排出，在水处理工艺中一般设置在氢离子交换器的后面，