原子力显微镜技术方案.pptVIP

原子力显微镜 原子力显微镜与前面的两种显微镜相比有明显不同，它用一个微小的样品探针来“摸索”微观世界。在立体三维上观察物质的形貌。并能获得探针与样品相互作用的信息。典型AFM的侧向分辨率（x，y方向）可达到2nm，垂直分辨率（z方向）小于0.1nm。 特点：操作容易、样品准备简单、操作环境不受限制、分辨率高等优点。 二、基本原理 它是用微小的探针“摸索”样品表面来获得信息。当针尖接近样品时，针尖受到力的作用使悬臂发生偏转或振幅改变。悬臂的这种变化经检测系统检测后转变成电信号传递给反馈系统和成像系统，记录扫描过程中的一系列探针变化就可以获得表面的信息图像。仪器包括检测系统，扫描系统和反馈系统。(如图1） 1、检测系统 悬臂的偏转或振幅改变可以通过多种方式检测，包括：光衍射法、光干涉法、隧道电流法、电容检测法等。目前AFM系统中常用的是激光反射检测系统，简单灵敏。此系统由探针、激光发生器和光检测器组成。 1）探针（AFM检测器的关键部分）。 由悬臂和悬臂末端的针尖组成 2）光检测器 2、扫描系统 3、反馈控制系统 其功能主要有： 1）提供控制压电转换器x－y方向扫描的驱动电压； 2）在恒力模式下维持来自显微镜检测环路输入模拟信号在一恒定数值。 恒力模式 反馈模式 恒高度模式 三、AFM的基本成像模式 包括以下4种： 接触式（contact mode） 非接触式(non- contact mode） 敲击式（tapping mode） 升降式（lift mode） 1)接触式成像模式 在此模式中，针尖与样品表面进行“软接触”。当探针逐渐靠近样品时，探针表面原子与样品表面原子先相互吸引，一直到原子间电子云相互静电排斥。这种静电排斥随探针与样品表面原子的进一步靠近，逐渐抵消原子间的吸引力。当原子间距离小于1nm，约为化学键长时，范德华力为0。 当合力为正值时（排斥），原子相互接触。由于在接触区域范德华力曲线斜率很高，范德华斥力几乎抵消了使探针进一步靠近样品表面原子的推力。当探针弹性系数很小时，悬臂发生弯曲，通过检测这种弯曲就可以进行样品形貌观察。假如设计很大弹性系数的硬探针给样品表面施加很大的作用力，探针就会使样品表面产生形变或破坏样品表面，这时就可以得到样品力学信息对样品表面进行修饰。 除范德华力外，在接触式AFM中还经常遇到两种力：毛细作用力和探针悬臂弹簧弹力。 2）非接触成像模式 探针以特定的频率在样品表面附近振动。探针和样品表面距离在几纳米到数十纳米之间，这一距离范围在范德华力曲线上位于非接触区域。此时探针和样品表面所受到的总力很小。通常在10-12N左右。在非接触式AFM中，探针以接近于其自身共振频率的频率(一般为100KHz~400KHz)及几纳米到数十纳米的振幅振动。当探针接近样品表面时，探针共振频率或振幅发生变化。检测器检测到这种变化后，把信号传递给反馈系统，然后反馈回路通过移动扫描器来保持探针共振频率或振幅恒定，进而使探针与样品表面平均距离恒定。计算机通过记录扫描器的移动获得样品表面形貌图。 3) 非接触式成像模式 与非接触式AFM比较相似，当它比非接触式AFM有更近的样品与针尖距离。和非接触式AFM一样，它是以一种恒定的驱动力使探针悬臂以一定的频率振动（一般为几百千赫），振动的振幅可以通过检测系统检测。当针尖刚接触到样品时，悬臂振幅会减小到某一数值。在扫面样品的过程中，反馈回路维持悬臂振幅在这一数值。当针尖扫描到样品突出区域时，悬臂共振受到阻碍变大，振幅减小；反之，当针尖扫描到样品凹陷区域时，悬臂共振受到阻碍变小，振幅增大。 悬臂振幅的变化经检测器检测并输入控制器后，反馈回路调节针尖和样品的距离，使悬臂振幅保持恒定，反馈调节是靠改变z方向压电陶瓷管电压完成的。当针尖扫描样品时，通过记录压电陶瓷管的移动就得到样品表面形貌图。 与以上两种模式比的优点是有效防止了样品对针尖的黏滞现象和针尖对样品的损坏。当遇到固定不牢的样品时，用接触式AFM成像使样品因摩擦力和黏滞力被拉起，从而产生假象。而非接触式成像则分辨率低。不能得到样品的精细结构形貌，敲击式集中了接触式分辨高和非接触式样品损坏小的优点。得到了既反映真实形貌又不破坏样品的图像。 另