智能薄膜解析.ppt

SnO2 SnO2传感器如今已经得到了普遍使用, 已成为需要及时准确的对易燃，易爆、有毒有害气体进行检测预报和自动控制的天然气、煤炭、石油、化工等部门不可缺少的一部分。 到目前为止，这种半导体传感器已可检测包括城市煤气、O2、H2O、CO、C02、NQx、SOx、H2S、C2H5OH、甲苯、二甲苯等多种气体，并且已有各种固定型号的传感器在市场上出售。另外，智能型SnO2气敏传感器在高新技术领域的应用更为广泛，例如结合仿生学和传感器电子技术而研制的性能类似狗鼻子的“电子鼻”，能在复杂的混合气体中对气体进行定量组分分析和识别，电子鼻由9个分离传感器的传感阵列，该阵列可以定性识别一些可燃气体，如甲烷、丙烷等。通过使用担载了不同添加剂的纳米传感材料，这种阵列能产生均匀的热分布，并且在低温下具有高灵敏度和良好的重现性。 智能薄膜材料 形状记忆合金薄膜材料 气体敏感薄膜材料 电致变色薄膜材料 形状记忆效应：将材料在一定条件下进行一定限度以内的变形后，再对材料施加适当的外界条件，材料的变形随之消失而回复到变形前的形状的现象． 形状记忆材料：具有形状记忆效应(Shape Memory Effect缩写SME)的材料． 有形状记忆效应的金属材料通常称为形状记忆合金(Shape　Memory Alloys，缩写SMA). 形状记忆合金薄膜材料 马氏体：一种低温相 母体：高温相 Ms:由母体开始转变为马氏体的温度 Mf：马氏体相变完成的温度 As：马氏体经加热时开始逆相变为母相的温度 Af:逆相变完成的温度。 用电阻法可测得材料进行马氏体相变及其可逆过程相变时的相变临界温度，如右图所示。 形状记忆效应表现为：当一定形状的母相样品由Af以上冷却至Mf以下形成马氏体，将马氏体在Mf以下变形，经加热至Af以上，伴随逆相变，材料会自动回复其在母相时的形状。 形状记忆合金在较低的温度下变形，加热后可恢复变形前的形状，这种只在加热过程中存在的形状记忆现象称为单程记忆效应。 某些记忆材料例如TiNi合金及Cu基记忆 合金经过一定的特殊处理后，材料可以“记忆”住高温时的形态，又可“记忆”低温时的形状。 当温度在高温和低温之间往返变化时， 材料自行在两种形状之间变换， 这种现象称为双向记忆效应（Two Way Memory Effect，简写为TWME）。 单程形状记忆效应和双程形状记忆效应示意图 形状记忆合金在工程上的应用很多 (1)连接件：用作连接件，是形状记忆合金用量最大的一项用途。 (2)热敏元件：形状记忆合金弹簧可以制作热敏驱动元件用于自动控制 (3)智能材料：在智能结构中，形状记忆合金作为敏感材料和驱动材料.。 (4)热机：实现热能-机械能相互转换 。 (5)航天应用。 (6)医学应用。 此外，超弹性合金作为机械储能材料也很有前景。 形状记忆合金的部分应用举例 工业上形状恢复的一次性利用 工业上形状恢复的反复利用 医疗上形状恢复的利用 紧固件 管接头 宇宙飞行器用天线 火灾报警器 印刷电路板的结合 集成电路板的焊接 电路的连接器夹板 密封环 温度传感器 调节温度用恒温器 温室窗开关器 汽车散热器的离合器 热能转换装置 热继电器的控制元件 记录器用笔驱动装置 机器手、机器人 消除凝固血栓过滤器 矫形棒 脑瘤手术用夹子 人造心脏和人造肾的瓣膜 骨折部位固定夹板 矫正牙齿用拱形金属线 人造牙根 人造关节 1969年，美国Raychem公司大量用Ti-Ni记忆合金作F-14战斗机油压系统管接头，使用了10万多个，至今未发生破损或脱落等事故。 F-14 记忆合金最令人鼓舞的应用是在航天技术中。 1969年7月20日，“阿波罗”11号登月舱在月球着陆。所用的直径数米大的天线就是用当时刚刚发明不久的记忆合金制成的。用极薄的记忆合金材料先按预定要求做好，然后降低温度把它压成一团，装进登月舱。放到月面上后，在阳光照射下温度升高，天线又恢复原来形状。 Apollo 11号登月舱 形状记忆合金薄膜 近年来，机械、生物技术、半导体技术等领域的发展对微型机械和微型机器人发展提出了日益迫切的需求，而研究各种微机械，选择合适的驱动材料特别重要。机敏材料（Smart material）,如形状记忆合金、压电材料、磁致伸缩合金，它们可以用电信号来控制材料的变形，直接将电能转化为机械能，尤其引人注意。 主要驱动材料驱动性能的比较 可以看出，在较低的相应频率下，形状记忆合金薄膜的输出应力、应变最大，单位体积功密度最高，因此，形状记忆合金薄膜有望成为最有发展前景的输出力和位移大、功密度高的微驱动器材料。 形状记忆合金以薄膜形态作为微驱动材料时，具有如下的几个特点： 1）形状记忆合金电阻率大（如TiNi为100μΩcm),