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mPT微定位平台产品定制方案需求表 直线运动平台 Units Travel/运动行程 mm Resolution/分辨率 nm Repeatability/重复定位精度 μm Accuracy/定位精度 μm Flatness of Travel/平面度 μm Straightness of Travel直线度 μm Pitch,Roll,and Yaw 俯仰，滚动，偏航误差 arc-sec Max.Acceleration/空载 9.8m/s^2 Max. Speed/最大速度 mm/s Average Speed Ripple/平均速度波动 Position Stability/位置稳定性 counts Max.Load Capacity/最大负载 kg Material/材料 Note： - 1 - Shanghai Micro-Motion Automation Co .,Ltd.