大气压放电详细分解.docVIP

大气压放电 必要性和优点 无需真空室 可批量处理，生产效率高 投入运行成本 大气压放电的模式 3．放电模式随气压的变化 大气辉光放电的优点 同电晕比较：放电强，处理速度快 同电弧比较：放电均匀，处理均匀 放电效率高：例：在空气中维持1个ion-electron对 glow需81eV, Arc 需要10,000 eV per。 大气压辉光放电的困难 （1）辉光放电区域随气压减小 （2）大气压放电中的热不稳定性（正反馈效应） 正反馈效应：放电局部增→局部气体加热增强→气体温度增加→局部气体密度降低，折合电场强度（E/n）增加,电子能谱向高能区增加 实验例子：[高气压，负高压（充电电容）] ●放电电流和电压 实验结果：放电模式转化时间T(Glow to Arc)随气压的变化 问题1：放电在何处易于收缩？ 问题2：如何抑制glow to arc 的transition? 问题3: Arc filament 放电均由glow 放电转化产生？ 大气压击穿模式 （1）预备概念： （a）电子雪崩----击穿放电的基础模型 从阴极产生的第一个起始电子，从电场获得一定动能从阴极产生的第一个起始电子，从电场获得一定动能后，会碰撞电离出一个第二代电子，这两个电子作为后，会碰撞电离出一个第二代电子，这两个电子作为新的第一代电子，又将电离出新的第二代电子，这时新的