真空系统的检测技术.ppt

对应上例d＝10－4cm漏孔的漏率相当于10－5～10－6Pa.L／s。这就是说，这样的漏孔当被水汽堵塞时，利用抽真空方法是无法把水压出去的，只能等待水汽慢慢地蒸发掉。因此，可行的办法是将被检测容器（或器件）升温，使水的表面张力大大下降，并加速其蒸发。 有些真空器件排气前有时检不到的漏孔，烘烤排气后则发现漏气，多半是这个原因。因此，为了检查小于10－6Pa.L／s的漏孔，一定要仔细处理好检漏部位，尽量不用手去摸被检测区域，避免尘埃或油脂堵塞。 1.5.5.3 补漏 找到漏孔的最终目的是消除漏孔。真空系统中常用的各种补漏的方法如下： 1）采用真空封腊和真空封泥可作暂时性补漏，而且只能在室温下应用； 2）采用环氧树脂封接堵漏。环氧树脂机械性能和绝缘性能好，环氧树脂密封胶可经受45℃～120℃的温度，系统用环氧树脂堵漏后可在10－5Pa的真空度下工作。环氧树脂密封胶除了可以用于金属及玻璃真空系统的堵漏外，还可以用于玻璃与金属件之间的粘接和封接；采用硅树脂密封胶则可经受4.2K～723K的工作温度范围，而且可用于10－8Pa的超高真空。 对于电真空器件来说，膏状的金属合金补漏剂更为适用。补漏时，须对被补件用砂纸和丙酮进行清洁处理，用红外线灯稍加烘烤到微热，再进行涂覆。涂覆时，应首先使被补处形成一层浸润层，再加厚到0.4mm，然后在低于1Pa的压力下加热保温，可