微电子机械系统教学大纲-微电子学院微电子实验教学中心.docVIP

《微电子机械技术》教学大纲 课程编号：MI3321037 课程名称：微电子机械技术 英文名称：MEMS Technology 学时： 30 学分：2 课程类型：任选课 课程性质：专业课 适用专业：微电子学 先修课程：电子器件基础 集成电路设计与集成系统 集成电路制造技术 开课学期：6 开课院系：微电子学院 一、课程的教学目标与任务（黑体小四） 目标：通过本课程的学习，使学生了解典型微电子机械系统基本原理，为微电子机械系统的设计和研制提供必要的基础知识。 任务：了解微电子机械系统的概念和基本原理，掌握微电子机械系统的基本加工技术与设计方法，熟悉微电子机械系统中微传感器与微执行器等基本机械部件的结构， 二、本课程与其它课程的联系和分工 微电子机械是半导体技术和机械技术结合的一种新技术，本课程在半导体制造技术的基础上对学生的知识进行扩充。先修课程为《》 教学环节 教学时数 课程内容 讲 课 实 验 习 题 课 讨 论 课 上 机 参观或 看录像 小 计 概论 2