扫描电镜技术及其应用简介-中国显微图像网.pptVIP

扫描电镜技术及其应用简介 1. 扫描电镜的产生 材料性质的决定因素 成分 工艺 组织 1.1 光学显微镜的局限性 分辨率——能分辨开来的物面上的两点的距 离（最小分辨距离），它是与放大倍数无关的。 1.2 电子显微镜的理论基础 光学显微镜分辨率：200nm 肉眼分辨率：0.1mm 根据德布罗意物质波假设，电子束具有波粒二象性： 1.3 电子显微镜 电子显微镜(Electron Microscopes) 利用电磁场偏着电子束、聚焦电子束及电子与物质作用原理来研究物质构造及微细结构的精密仪器。 用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的技术称为电子显微术。 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopes，TEM）——是一种高分辨率，高放大倍数的显微镜，是观察和分析材料的形貌，组织和结构的有效工具。它用聚焦电子束作为照明源，使用对电子束透明的薄膜试样（几十到几百nm），以透射电子为成像信号。 原理：电子枪产生的电子束经1~2级聚光镜会聚后均匀照射到试样上的某一待观察微小区域小，入射电子与试样物质相互作用，由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与所观察试样区的形貌、组织、结构一一对应。投射出试样的电子经物镜、中间镜、投影镜的三级磁透