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河北师范大学 成人教育本科学员毕业论文（设计） 题目： 高真空的测量和应用研究 作者： 范彦彦 学院： 物理学院 专业： 物理学 年级： 2010级 完成日期： 2012 年 10月 4 日 高真空的测量和应用研究 范 彦 彦 摘要高真空技术应用范围很广，主要应用一下几个方面1、原子能工业 核燃料元件制造。2、理化机器工业 电子显微镜、表面分析仪器、质量分析仪器、粒子加速器。 3、金属材料工业 金属蒸镏、钢化脱气、真空感应熔炼、真空电弧熔炼、电子束焊接、真空热处理、真空渗碳、离子氮化、碳氦共渗、真空烧结、真空制粉、真空纳米金属制粉。4、电子电器工业 电子管、真空开关、蒸镀、真空浸渍、真空气相干燥。5、汽车工业 真空热处理、真空钎焊、真空蒸镀。 6、食品工业 真空冷冻干烧、真空浓缩、脱气、真空包装、真空过滤7、建筑工业 混凝土真空吸水软吹盘、真空吸盘。 1 引言 1 2 真空技术的基础知识 1 3 高真空的获得——真空泵 2 3.1 机械泵的工作原理 2 3.2 油扩散泵的结构与工作原理 4 4 高真空的测量——真空计 5 4.1 温差电偶真空计的原理 5 4.2 热阴极电离真空计的原理 6 5 真空计的检漏与系统密封 6 6 高真空的应用 7 6.1 真空包装 7 6.2 太空制药 8 6