仪器分析课件7.4 电子能谱与电子探针.ppt

第七章  X射线光谱和表面分析法 第四节 电子能谱与电子探针 7.4.1 Auger电子能谱分析法 Auger electron spectroscopy KL1L2 Auger电子的产生过程 Auger电子能量 Auger电子产率 Auger峰强度 Auger电子能谱图 Auger电子能谱图 二、 俄歇电子能谱分析仪（多功能） 1. 激发源 2. 电子能量分析器 3. 检测器 三、应用 7.4.2 电子微探针分析法（EPXMA）与扫描电子显微镜 内容选择： 7.4.1 Auger电子能谱分析法 7.4.2 电子微探针分析法与扫描电子显微镜 X-ray spectrometry and surface analysis Electron spectroscopy and electron-probes M+* → M+ + hν (荧光X射线) M+* → M+ + e- (Auger电子) 两个过程竞争； 双电离态； 三 (或两)个能级参与； 标记：K L1 L2；L M1 M2 等； H、He不能发射Auger电子。 一、原理 Auger电子 X射线 激发电子 (1)Auger电子动能与所在能级和仪器功函数有关； (2)二次激发，故与X射线的能量无关； (3)双重电离，增加有效核电荷的补偿数? (? =1/2～1/3)。 通式： Ew(Z) - Ex(Z)：x轨道电子跃迁到w轨道空穴给出的能量； Ey(Z+? )：y轨道电子电离的电离能。 用概率来衡量两个竞争过程，发射X射线荧光的几率PKX；发射K系 Auger电子的概率PKA ，则K层X射线荧光产率： K层Auger电子产率： ?KA=1- ?KX Z14, ?KA 90%。 由图可见，Auger电子能谱更适合轻元素分析, Z32 。 Auger峰强度： IA ? Qi · PA Qi ，电离截面； PA Auger电子发射概率； 电离截面Qi与束缚电子的能量(Ei)和入射电子束的能量(Ep)有关。 Ep Ei ， 电离不能发生，则Auger产率为零； Ep / Ei ≈3 ，可获得较大Auger峰强度。 Auger电子能量与元素序数和产生的能级有关，具有特征性。 对于 3 ~ 14 的元素， Auger峰类型为KLL 型； 对于14 ~ 40的元素， Auger峰类型为LMM 型。 如图，按X射线能谱记录的曲线上，Auger谱峰淹没在本底中，采用微分曲线，则Auger谱峰明显。 锰的价态与形态分析。 激发源 试样装置 电子能量分析器 检测器 计算机 X射线电子能谱：X射线管； 紫外电子能谱：He，Kr的共振线； Auger电子能谱：强度较大的电子枪(5～10 keV)。 (1) 半球形电子能量分析器 改变两球面间的电位差，不同能量的电子依次通过分析器，分辨率高。 (2) 筒镜式电子能量分析器 （CMA) 同轴圆筒，外筒接负压，内筒接地，两筒之间形成静电场。 灵敏度高，分辨率低；二级串联。 产生的光电流：10-3～10-9A； 电子倍增器作为检测器； 单通道电子倍增器和多通道电子倍增器。 4. 真空系统 光源、试样室、电子能量分析器、检测器都必须在高真空条件下工作； 真空度：1.33?10-6 Pa 。 俄歇电子能谱法是应用最广泛的表面分析技术。 所获得的信息深度为0.5?～10 nm，既可以进行点分析和高分辨的横向分布分析，也可以进行薄膜和试样深度纵断面组成分布分析。 能测定除氢和氦之外的所有元素的各种状态。 在俄歇电子能谱法中，结合能不同所产生的化学位移差别非常小，检测困难，故不能用来鉴别元素形态。 两者仪器基本相同。 电子枪发射的电子流被阳极电压加速后，能量在1～50 keV之间，电流为10 pA～１?A。聚焦后形成直径为0.001～0.1 ?m的电子束，照射在试样上时，激发产生X射线，能用波长色散或能量色散X射线光谱仪检测。 可同时记录Be～U所有元素的信号强度。相对检测准确度在1%～10%之间，检出限达0.01%～0.1％。 扫描电子显微镜与电子微探针分析法的主要区别：检测和显示方式不同。 EPXMA：从试样表面逐出的二次电子由闪烁检测器检测。 将试样制成薄片(100 nm)，由穿过样品的发射电子得到试样的图像，即为