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对湿敏元件进行抗水浸性能的试验(水浸两小时)结果如图所示，水浸后元件阻值略有提高，在低湿段较为明显。 ② 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 该类高分子湿度传感器的感湿材料即是含有氯化季铵盐的高分子聚合物—丙烯酸酯，该材料是一种离子导电的高分子材料。 聚苯乙烯磺酸铵元件是在氧化铝基片上印刷梳状金电极，然后涂覆加有交联剂的苯乙烯磺酸铵溶液，之后，用紫外线光照射，苯乙烯磺酸铵交联、聚合，形成体形高分子，再加保护膜，形成具有复膜结构的感湿元件。 该元件测湿范围为(30—100)％RH；温度系数为-0.6%RH／℃；具有优良的耐水性，耐烟草性，一致性好。 此类湿度敏感元件是把感湿粉料(金属氧化物)调浆，涂覆在已制好的梳状电极或平行电极的滑石瓷、氧化铝或玻璃等基板上。 四氧化三铁、五氧化二钒及三氧化二铝等湿敏元件均属此类。 其中比较典型是性能较好的是四氧化三铁湿敏元件。 工艺： 一般采用滑石瓷作为元件的基片。在基片上用丝网印刷工艺印刷梳状金电极。将纯净的黑色Fe3O4胶粒，用水调制成适当粘度的浆料，然后用笔涂或喷雾在已有金电极的基片上，经低温烘干后，引出电极即可使用。 Fe3O4湿敏元件湿滞曲线 元件的湿滞现象在高湿较为明显、最大湿滞回差约为土4%RH，可以满足民用的要求。 ②五氧化二钒一二氧化钛(V 2O5—TiO2)陶瓷湿敏元件 ⑶薄膜型 氧化铝薄膜湿敏传感器 多孔导电层A是用蒸发金膜制成的对面电极,它能使水蒸汽浸透氧化铝层 B为湿敏部分 C为绝缘层(高分子绝缘膜)； D为导线。 目前以钽为基础的湿敏元件在有腐蚀剂和氧化剂的环境中使用时，都不能保证长期稳定性。 但以钽作为基片，利用阳极氧化法形成氧化钽多孔薄膜是一种介电常数高、电特性和化学特性较稳定的薄膜。以此薄膜制成电容式湿敏元件可大大提高元件的长期稳定性。 电容式湿敏元件就是采用氧化物为感湿材料的。 制作工艺：它是在钽丝上阳极氧化一层氧化钽薄膜；膜上还有一层含防水剂的二氧化锰层，做为一对电极的导电层：考虑到对油烟、灰尘等应用环境的适应性，还装有活性炭纸过滤器，使之适于测量腐蚀件气体的湿度。 3.有机物及高分子聚合物湿度传感器 ⑴胀缩性有机物湿敏元件 羟乙基纤维素碳湿敏感元件敏感功能结构 羟乙基纤维素碳湿敏感元件的感湿特性曲线 ⑵高分子聚合物薄膜湿敏元件 ① 等离子聚合法聚苯乙烯薄膜湿敏元件 用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团。随环境湿度大小而吸湿或脱湿而引起介电常数的改变。 制作方法：在玻璃基片上镀上一层铝薄膜作为下电极?，用等离子聚合法在铝膜上镀一层(0.05μm)聚苯乙烯作为电容器的电介质?再在其上—层多孔金膜做为上电极 该类元件的特点是 测湿范围宽．有的可覆盖全湿范围； 使用温度范围宽，有的可达-40一十150℃； 响应速度快，有的小于1s； 尺寸小．可用于狭小空间的测湿； 温度系数小，有的可忽略不计。 ② 醋酸纤维有机膜湿敏元件 电容式湿敏元件的感湿材料即是醋酸纤维。 制作工艺：在玻璃基片上蒸发梳状金电极，作为下电极?将醋酸纤维按一定比例溶解于丙酮、乙醇(或乙醚)溶液中配成感湿溶液?然后通过浸渍或涂覆的方法，在基片上附着一层(0.5μm)感湿膜?再用蒸发工艺制成上电极，其厚度为20μm左右。 这种湿敏元件响应速度快，重复性能好，由于是有机物，所以在有机溶剂环境下使用时有被溶解的缺点。最适宜的工作温度范围为0一80℃． ③毛发湿度计 据说最初的毛发湿度计是达芬奇(Leonard da Vinci)用羊毛或人的头发制成。 原理：当相对湿度由0%变为100%时，人的头发伸长约2.5%，通过杠杆将这种伸长进行放大，从而转动指针，读出湿度 Fe3O4湿敏元件的响应时间 三、湿度传感器 ⑵ 烧结体型 工艺 这类元件的感湿体是通过典型的陶瓷工艺制成的。即将颗粒大小处于一定范围的陶瓷粉料外加利于成型的结合剂和增塑剂等,用压力轧膜,流延或注浆等方法成型，然后在适合的烧成条件下，于规定的温度和气氛下烧成，待冷却清洗，检选合格产品送去被复电极，装好引线后，就可得到满意的陶瓷湿敏元件。 特点 这类元件的可靠性、重现性等均比涂覆元件好，而且是体积导电，不存在表面漏电流，元件结构也简单。 三、湿度传感器 代表性产品 这是一类十分有发展前途的湿敏元件，其中较为成熟， 且具有代表性的是： 铬酸镁一二氧化钛(MgCr2O4—TiO2)陶瓷湿敏元件 五氧化二钒一二氧化钛(V2O5—TiO2)陶瓷湿敏元件 羟基磷灰石(Ca10(PO4)6(OH) 2)陶瓷湿敏元件 氧化锌一三氧化二铬(ZnO—Cr2O3)陶瓷湿敏元件 三、湿度传感器 ① MgCr2O4—TiO2陶瓷温敏元件(MCT型) 在MgCr2O4—