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第11章 化学传感器 11.1 气敏传感器 11.2 湿敏传感器 气敏传感器的定义： 是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。 气敏传感器的性能要求： 对被测气体具有较高的灵敏度 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感 性能稳定，重复性好 动态特性好，对检测信号响应迅速 使用寿命长 制造成本低，使用与维护方便等 气敏传感器的主要参数及特性 灵敏度：对气体的敏感程度 响应时间 ：对被测气体浓度的响应速度 选择性：指在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力 稳定性：当被测气体浓度不变时，若其他条件发生改变，在规定的时间内气敏元件输出特性保持不变的能力 温度特性：气敏元件灵敏度随温度变化而变化的特性 湿度特性：气敏元件灵敏度随环境湿度变化而变化的特性 电源电压特性：指气敏元件灵敏度随电源电压变化而变化的特性 时效性与互换性：反映元件气敏特性稳定程度的时间，就是时效性；同一型号元件之间气敏特性的一致性，反映了其互换性 气敏传感器的分类 11.1.2 半导体式气敏传感器的工作原理 半导体式气敏传感器： 利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度 半导体式气敏传感器可分为： 电阻式 非电阻式 （1）电阻式气敏传感器 基本原理 是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。 当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2, ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。 当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。 规则总结： 氧化型气体＋N型半导体：载流子数下降，电阻增加 还原型气体＋N型半导体：载流子数增加，电阻减小 氧化型气体＋P型半导体：载流子数增加，电阻减小 还原型气体＋P型半导体：载流子数下降，电阻增加 SnO2的灵敏度特性和温－湿度特性 SnO2气敏电阻的基本检测电路 主要类型 (*) 烧结型气敏器件 薄膜型气敏器件 厚膜型气敏器件 电阻式气敏传感器的特点 优点： 工艺简单，价格便宜，使用方便； 气体浓度发生变化时响应迅速； 即使是在低浓度下，灵敏度也较高。 缺点： 稳定性差，老化较快，气体识别能力不强，各器件之间的特性差异大等。 11.1.3 气敏传感器的应用 11.2 湿敏传感器 11.2.1 湿敏传感器的基本概念及分类 11.2.2 常用湿敏传感器的基本原理 11.2.3 湿敏传感器的应用 湿度的定义及其表示方法 所谓湿度，是指大气中水蒸气的含量。它通常有如下几种表示方法： 绝对湿度（AH） 相对湿度（%RH） 露点 绝对湿度（AH） 相对湿度（RH） 露点（温度） 在一定大气压下，将含有水蒸气的空气冷却，当温度下降到某一特定值时，空气中的水蒸气达到饱和状态，开始从气态变成液态而凝结成露珠，这种现象称为结露，这一特定温度就称为露点温度 湿敏传感器的定义 　就是一种能将被测环境湿度转换成电信号的装置 　主要由两个部分组成：湿敏元件和转换电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等 一个理想的湿敏传感器应具备的性能 使用寿命长，稳定性好 灵敏度高，线性度好，温度系数小 使用范围宽，测量精度高 响应迅速 湿滞回差小，重现性好 能在恶劣环境中使用，抗腐蚀、耐低温和高温等特性好 器件的一致性和互换性好，易于批量生产，成本低 器件感湿特征量应在易测范围内 湿敏传感器的主要参数及特性(*) 感湿特性 湿度量程 灵敏度 湿滞特性 响应时间 感湿温度系数 老化特性 湿敏传感器的分类 11.2.2 常用湿敏传感器的基本原理 电阻式湿敏传感器 电容式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。 根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为： 电解质式 陶瓷式 高分子式 陶瓷式电阻湿敏传感器的特点 传感器表面与水蒸气的接触面积大，易于水蒸气的吸收与脱却； 陶瓷烧结体能耐高温，物理、化学性质稳定，适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性； 可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造，改善传感器湿敏特性。 （2