MEMS加速度计技术报告.pptVIP

MEMS加速度计 应用领域 机械特性检测 土木结构状态监测 汽车 机器人 自动化 地震记录 汽车 结构主动控制 卫星导航 武器制导 玩具 …… 加速度计的精度与价格 MEMS加速度计的特点 尺寸小 重量轻 成本低 易集成 功耗小 …… 据专家预测，MEMS加速度计在不久的将来有可能独占中低精度的加速度计市场的潜力。 基本原理 基本原理 传递函数幅值 基本原理 在单位阶跃加速度 作用下的响应为 加速度计的性能指标 量程 灵敏度： 降低刚度 增加质量 动态范围 提高加速度计的固有频率，但这与提高灵敏度有矛盾。 反应时间 提高固有频率 工作原理 压阻式 压电式 电容式 谐振式 隧穿式 热对流式 …… 半导体的压阻效应（piezoresistivity） 电阻 为电阻率 取 ，得 半导体的压阻效应(piezoresistivity) 半导体的压电效应 施加力F3时，产生电荷 电压为 更完整的表达式 其中 分别为 应力、应变、场强和电 位移； 分别 为刚度矩阵、介电常数 矩阵和压电常数矩阵 半导体的压电效应 常用压电材料 石英晶体 PZT ZnO