MEMS设计技术报告.pptVIP

MEMS设计 课程简介 第1章 绪 论 1.1 MEMS定义 MEMS是英文micro electro mechanical system的缩写，译作微电子机械系统，简称为微机电系统。顾名思义，MEMS是由微机械和微电子线路组成的微系统。它是从20世纪80年代发展起来的一种综合性的技术。 对于微机电系统，目前国际上还没有比较统一的定义，国内一般定义为：微机电系统是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅、非硅微加工和精密机械加工技术制作的，包括微传感器、微执行器和微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。微机电系统将信息获取、处理和执行一体化地集成在一个器件上。从加工及应用的角度来看，微机电系统是指采用微机械加工技术可以批量制作的、集微传感器感器、微机构、微执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信等模块于一体（一般为硅衬底材料）的微型器件或微型系统。 典型的MEMS系统与外部世界相互作用的示意图 MEMS的研究公认自20世纪80年代开始。1987年，美国加州大学伯克利实验室首次做出直径100μm、60μm的微电机，引起国际学术界和产业界的高度重视。1989年的MEMS国际会议上一致认为，用微电子技术制造微机电系统是一项崭新的技术。 MEMS具有的共同特点是：尺寸小（1μm-1mm）、重量轻、性能稳定