材料近代测试方法__第三章：透射电子显微分析技术摘要.ppt

材料检测方法 主讲老师：杨 可 第三章 透射电子显微分析技术 Transmission electron microscope 电子光学应用的最典型例子是TEM ，它是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。 TEM用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。 3.1 结构 TEM是高分辨本领、高M的电子光学仪器。 由电子光学系统、电源系统、真空系统 和操作控制系统组成。 电子光学系统分为照明、成像及观察纪录、辅助系统。 光学显微镜与透射电镜比较 高压系统 真空系统 控制系统 观察和记录系统 3.1.1 照明系统 作用是提供光源（控制其稳定度、照明强度和照明孔径角）；选择照明方式（明场或暗场成像）。 （1）阴极 又称灯丝，一般由0.03~0.1mm钨丝作成V或Y形状。 （2）阳极 加速从阴极发射出的电子。 为了操作安全，一般是阳极接地，阴极带有负高压。 -50~200kV （3）控制极 会聚电子束；控制电子束电流大小，调节像的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，习惯通称为“电子枪”。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 (4) 聚光镜 由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极后，逐渐变粗，射到试样上仍然过大。