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１．真空基础 １－１ 何谓真空 １－２ 单位 ２．真空用语 ２－１ 共通用語 ２－２ 泵相关用语 ２－３ 真空計相关用语 ２－４ 部品相关用语 ２－５ 技术相关用语 ３．真空泵 ３－１泵的体系 ３－２干泵 ３－３ 机械升压泵 ３－４ 涡轮分子泵 ３－５ 冷泵 ４．真空計 ４－１ 真空計的种类 ４－２ 热电偶气压计 ４－３ 热压力计（皮拉尼压力计） ４－４ 隔膜真空計 ４－５ 电离真空計 ４－６ 真空計的用途分类 ５．传导性与排气时间 ５－１ 传导性 ５－２传导性的合成 ５－３ 排气时间的计算 ５－４ 真空容器的平衡圧力 ６．泄露与气体释出 ６－１ 泄露 ６－２ 气体释出 ６－３ 排气曲线 ７．真空的判断 ７－１ 泄露试验 ７－２ 氦气检漏仪 ７－３ 四重极质量分析计 ７－４ 加高法 １．真空基础 １－１． 何谓真空 真空是指低于外界压力的容器内的压力状态。 （低于1大气压的压力状态） 大気圧～１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０－１Ｐａ）→粘性流 ＜１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０