高纯气体管道内壁清洁、脱脂、干燥技术的研究要点.docVIP

目录 可行性研究报告 自来水科技合同 经费审批文件 技术总结报告 技术研发报告 开题报告书 鉴定证书 科技查新报告 效益证明  目 录 一、项目背景 二、主要原理 三、项目必要性和可行性 四、项目研究人员情况 五、项目具备的基础条件 六、项目进度计划 七、结论 一、项目背景： 氮气、氧气、氢气等气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。气体的应用，特别对这些领域的高新技术有重要的影响，是其不可缺少的原料气或工艺气。半导体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。属容积式压缩机，是通过工作容积的逐渐减少来达到气体压缩的目的。螺杆式空气压缩机的工作容积是由一对相互平行放置且相互啮合的转子的齿槽与包容这一对转子的机壳所组成。在机器运转时二转子的齿互相插入对方齿槽，且随着转子的旋转插入对方齿槽的齿向排气端移动，使被对方齿所封闭的容积逐步缩小，压力逐渐提高，直至达到所要求的压力时，此齿槽方与排气口相通，实现了排气。 计算机信息管理 技术的实施 5 孙 涛 副主管 助理工程师 环境工程 技术的实施 6 赵忠强 主 管 助理工程师 土木工程 技术的实施 7 宋 洁 主 管 助理