7S与无尘室管理研究报告.ppt

* * 进风口 回风口 无尘室管理 1.什么是无尘室 OA 空气由空调箱经风管与无尘室内之HEPA进入无尘室，并由高架地板或侧面回风。 原理图 * 70个 7个 0.7个 -- 0.5μm 10000个 1000个 100个 30个 0.3μm C-100，000 C-10，000 C-1，000 C-100 粒徑 3.无尘室的天敌—异物与静电 (1)异物 A.异物大小 它以?m尺寸為單位,人的肉眼可见尺寸为10?m,光学可见的范围为0.1~10 ?m.人的头发直径大约在50~70 ?m ,TFT的配线大约在6 ?m的程度。 Array无尘室(全室)管理等级订定100。 Panel管理等级订定100~10000。 Module部份的管理等级订定10000~100000。 2.无尘室管控等级 利用尘度测试仪，距高架地板1.2m处，每3m*3m测定一点，一次3min,取样 1cfm,做3次取平均值。 * B.异 物 产 生 之 源 a.由厂房外产生 付着在物品上进入 人员携入 从环境破坏处进入 无尘室 人 机 料 法 b.由厂房内产生 摩擦产生金属、塑料 加工时所使用的托盘及通箱 文具纸张纸类，随时间会慢慢的破损 人行动时产生风，因而将异物卷起向上扩散 * C.异 物 防止三 原 则 不带入 不要携带任何的异物进入无尘室，进出无尘室的东西须全数实施除尘对策。 不产生