Centrotherm扩散炉培训教程.ppt

Centrotherm扩散炉培训 培训内容 开机操作 生产操作 关机操作 维护保养 生产提示 开机操作（一） 1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。 2、打开气柜氮气和氧气手动阀，并调节调压阀使其压力在2Bar左右。 开机操作（二） 3、打开电气柜上的“Main Switch”在“ON”位置，设备上电；CMI电脑自动启动。 4、打开设备冷却水，先开出水阀，再开进水阀。检查水压在3-6kg /cm2 范围内。 开机操作（三） 5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“6065”，进入CMI计算机的XP系统，自动启动CMI软件。 6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系统。 开机操作（四） 7、 设定各管“Paddle”温度为默认值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、设定升温速度为5℃/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，输入“5”，并按确认键“ENTER”。 开机操作（五） 9、当温度到达500℃时，用手推动炉门的气缸，使炉门关闭。 10、顺时针打开TGA上部调压阀，使压缩空气压力恢复到4Bar左右。 开机操作（六） 11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关，检查并确认设定温度20℃；按下“RUN”