测试AES与XPS方法研究报告.pptVIP

Ce-Ogroup (529.5ev) Al-O group (531.6ev) Ce-OH group (532ev) XPS分析结论 1.2024铝合金铈转化涂层包括氧化铝，氧化铈，氢氧化铈。 2.Ce状态为Ce3 +和Ce4 +，涂层外部大多为Ce4 +的化合物。这表明， 在 Ce3 +的离子溶液涂覆过程中，一些Ce3 +被氧化成Ce4+ 。另外 曝光过程，样品暴露在空气中，涂层表面上的部分Ce3 +也被氧成Ce4 +。 总结 1. 相同之处：它们都是得到元素的价电子和内层电子的信息，从而对原子化器表面的元素进行定性或定量分析。 优劣对比：XPS通过元素的结合能位移能更方便地对元素的价态进行分析，定量能力也更好，使用更为广泛。但由于其不易聚焦，照射面积大，得到的是毫米级直径范围内的平均值，其检测极限一般只有0.1%，因此要求原子化器表面的被测物比实际分析的量要大几个数量级。AES有很高的微区分析能力和较强的深度剖面分析能力。现在最小入射电子束径可达10nm。 常见的表面分析都是两种分析方法结合使用。 * * 材料分析测试技术--AES与XPS分析方法 俄歇电子是1925年法国科学家P.Auger发现，他用X射线照射威尔逊云雾时，发现有两个电子径迹，一个径迹是由光电子射出产生，另一个径迹是由后来人们称为俄歇电子的发射产生。 二次电子的一种，信号微弱 俄歇电子能谱 AES