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介质薄膜材料 2011.4.13 要求： 1、初步认识介质薄膜材料； 2、了解介质薄膜的分类； 3、熟悉典型介质薄膜的制备、性质及 应 用； 第一节 概述 一、介质薄膜简介 介质薄膜以其优良的绝缘性能和介电性能 在半导体集成电路、薄膜混合集成电路以及一 些薄膜化元器件中得到广泛应用。 长期以来，人们对介质薄膜进行了较深入 研究。随着科学技术的发展，人们对某些介质 材料中的新效应，如压电效应、电致伸缩效 应、热释电效应、光电效应等的研究和应用更 为关注。 现在所谓的介质薄膜，其含义已远超出单 纯的电容器介电膜的范围， 而是把它作为一类 重要的功能薄膜材料或复合材料。 二、相关概念 1、介电功能材料：是以电极化为基本电学特 征的功能材料。所谓电极化就是指在电场 （包括光频电场）作用下，正、负电荷中心 相对移动从而出现电矩的现象。电极化随材 料的组分和结构、电场的频率和强度以及温 度、压强等外界条件的改变而发生变化，所以 介电功能材料表现出多种多样的、有实用意 义的性质，成为电子和光电子技术中的重要 材料。 2、分类 （1）按化学分类：无机材料、有机材料、无 机和有机的复合材料； （2）