金刚石薄膜剖析.pptVIP

* * 第三节 金刚石薄膜 金刚石在所有已知物质中具有最高的硬度，室温下有最 高的热导率，对光线而言从远红外区到深紫外区完全透明， 有最低的可压缩性，极佳的化学惰性，其生物兼容性超过了 钛合金等等。然而由于天然金刚石数量稀少，价格昂贵，尺 寸有限等因素，人们很难利用金刚石的上述优异的性能。 根据天然金刚石存在的事实以及热力学数据，人们一直想通过 碳的另一同素异形体——石墨来合成金刚石。但由于金刚 石与石墨之间存在着巨大的能量势垒，要将石墨转化为金刚 石，必须使用高温高压技术来人工合成，使得人工高温高压 合成的金刚石价格昂贵。 20世纪80年代初开发的化学气相沉积(CVD)制备的金刚石 薄膜，不仅成本低，质量高，而又可大面积制备，使人们 大规模应用金刚石优异性质的愿望，通过CVD法合成金刚 石薄膜得以实现。 金刚石膜具有极其优异的物理和化学性质，如高硬度、 低磨擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙 和载流子的高迁移率以及这些优异性质的组合和良 好的化学稳定性等，因此金刚石薄膜在各个工业领域 有极其广泛的应用前景。 科学家认为ＣＶＤ金刚石薄膜的问世是发明塑料以来在 材料科学领域中一项最伟大的发明。所以这种常被人们 称为２１世纪的新材料受到西方发达国家的高度重视。 美国、英国、日本、德国、俄罗斯、都将其列入国家 重大发展项目。如美国政府的第三个国家关键技术报 告就将金刚石薄