本章内容 6.1 光 电 效 应 6.2 常用光电转换器件 6.3 固态图像传感器 6.4 光栅传感器 6.5 光学编码器 6.6 转速测量基本转速及转速传感器 6.7 接近开关的基本转速及其传感器 6.3 固态图像传感器 固态图像传感器(solid state imaging sensor)是指在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与位移寄存器构成一体的集成光电器件,其功能是把按空间分布的光强信息转换成按时序串行输出的电信号。 CCD —电荷耦合器件(charge coupled device)是其中应用最广泛的一种。 光纤式光电开关 光纤式光电开关应用 光纤式光电开关应用 光电元器件输出电信号的幅值可用光栅位移量x的正弦函数表示,以电压输出而言有: 式中:U0为输出信号中的平均直流分量,对应莫尔条纹的平均光强;Um为输出信号的幅值,对应莫尔条纹明暗的最大变化。 将输出的电压信号经过放大、整形变为方波,经微分电路转换成脉冲信号,再经过辨向电路和可逆计数器计数,就可以数字形式实时地显示出位移量的大小。 若指示光栅采用裂相光栅,一般由4个部分构成,每一部分的刻线间距与对应的标尺光栅完全相同,但各个部分之间在空间上依次错开的距离(n为整数),若用光电器件分别接收裂相光栅4个部分的透射光,可以得到相位依次相差的4路信号如下: 将4路信号
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