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第四编 等离子电视制造设备 第一章 第一节 湿洗装置 1.前言 最近等离子等离子电视 2.关于清洗装置的想法 2.1高吞吐率 伴随基板向大型化发展，高吞吐率是降低运行成本的最重要的项目。为实现高吞吐能力就以下项目讲述。 ①去除粒径大的微粒（10um以上）使用刷子及洗涤剂，如何提高效率是重要的。 关于洗涤剂的选择，要看微粒的性质是有机质还是无机质、附着物是化学的还是物理的、是否与电气相结合，这些方面也要鉴别选择。 例如使用由无机碱系的界面活性剂与溶剂构成的洗涤剂时,如果是清洗只是由有机质和无机质构成的微粒,其洗涤剂可以以前者为主体。即使是有机质微粒,如果是树脂系（含粘接剂）的微粒,也要选择溶剂含有量多的。并且需要设定适当的浓度温度条件。 去除物理的附着微粒时刷子最适合，特别是线径为0.15~0.2mm的尼龙刷子较好。 ②快速排掉大型基板上的清洗水，实现高处理率。 各槽使用过的清洗水/洗涤水怎样不会被带入下一工序，如何保持含微粒的洗涤水的清洁性是很重要的。为此采用使用高压缩空气的液体切割（liquid cutter）。 我公司作为别的解决方案，采用新开发出Air jet shower(A/J)。 如图1所示。此方法即纯净水→纯净水+空气（2个水流）→