第1章基本光学量的测试技术.pptVIP

第一章 基本光学量的测试技术 §1-2 星点检验 * * * * 轴外点理论分辨率与轴 上点理论分辨率的关系 M σt C P P ω M C σ σ O u P P u f f 子午面上 * * 弧矢面上 * * 显微系统的调焦标准不确定度——清晰度法（几何焦深） 将人眼的调焦标准不确定度换算到显微系统物方的简单方法，是把显微系统看作一个放大率较大的放大镜，其等效焦距为 设显微系统物空间的折射率为n时，设人眼调焦标准不确定度为 ，则 取De、D‘较小者， mm * * 显微系统的调焦标准不确定度——清晰度法（物理焦深） 如果De＞D′，则当目标像和标志像发出的光束在显微系统出瞳范围内所截波面之间的波差小于λ/6时，人眼看到二者同样清晰。假定显微镜像质良好，在目标到标志的深度范围内波像差的变化很小。那么，在显微系统物方，目标和标志对入瞳的波差也应小于λ/6。 设目标到入瞳的距离为R1，到标志的距离为R2，入瞳直径为D。则二者之间在入瞳处的波差，当NA≤0.50时，根据波像差理论，可近似得 假设物空间介质的折射率为n，物方最大孔径角为U，而且差值R2－R1＝△x2是个很小的数。则有 * * * * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.1 以点扩散函数为基础的定义 3）光学传递函数的定义 光学传递函数OTF（r,s）通常是复函数，于是可表示成 光学传递函数的模量MTF（r, s）称为光学系统的调制传递函数，辐角PTF（r, s）称为光学系统的相位传递函数。 * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.1 以点扩散函数为基础的定义 4）线扩散函数 不影响一般性，取垂直于正弦光栅的坐标系，光学传递函数就可以用一维函数表示： 令 则LSF被称为光学系统的线扩散函数。它表示物平面上垂直坐标轴方向的一条无限细亮线，经光学系统所成亮线像的归化辐照度分布。 坐标变换 u=1/r ψ u v=1/s v v u=1/r1 u * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.1 以点扩散函数为基础的定义 4）线扩散函数 一维光学传递函数可以改写为 上式表示光学系统的一维光学传递函数是它的线扩散函数的傅里叶变换。 由于OTF（r）也是复函数，则可用调制传数函数为模量、相位传递函数为辐角来表示为 * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.1 以点扩散函数为基础的定义 4）线扩散函数 在一维情况下，满足线性空间不变性条件的光学系统，对在非相干照明下物面成像时，像面的辐照度分布为 即像面辐照度分布是物面辐照度分布和线扩散函数的卷积。 * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.2 以正弦光栅成像为基础的定义 正弦光栅的入射光光强分布如图中实线所示，可表示为 Δ=PTF(r) / 2π Ia 1/r I I0 u 正弦光栅成像 I0 MTF(r)Ia * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.2 以正弦光栅成像为基础的定义 使正弦光栅经过光学系统成像，利用成像公式和归一化式，并将余弦函数展开，然后逐项积分可得 如虚线所示。 Δ=PTF(r) / 2π Ia 1/r I I0 u 正弦光栅成像 I0 MTF(r)Ia * * § 1-5 光学传递函数测试技术1. 光学传递函数测试基础 1.2 以正弦光栅成像为基础的定义 几点结论： 1）正弦光栅所成的像仍是正弦光栅。在不考虑光学系统对光的吸收和反射等损失的情况下，正弦光栅像的平均光强和原来物面上的正弦光栅平均光强I0一样。正弦光栅像的空间频率保持不变，仍为r。 2） MTF（r）值表示光学系统对正弦光栅成像时，像的对比度和物的对比度之比。通常把MTF（r）称为系统对空间频率为r的正弦光栅成像的调制传递系数；在通常情况下，对不同空间频率r的正弦光栅成像时，调制传递系数值是不相同的。当把MTF（r）看成是空间频率r的函数时，则称它为光学系统的调制传递函数: 1.2 以正弦光栅成像为基础的定义 3）正弦光栅像的位置相对于理想位置也发生了横移，用PTF(r)来表示，它表示了光学系统对正弦光栅成像时在相位上的改变。通常把PTF（r）称为光学系统对空间频率为r的正弦光栅成像的相位传递因子。当把PTF（r）看成是随空间频率r变化的函数时，则称它为光学系统的相位传递函数。 4）正弦光栅成像时在幅值和相位上同时发生了变化，所以很容易与数学上一个复函数对正弦函数的作