11月4日洁净室技术指导.docVIP

无尘的概念，无尘车间、洁净室的定义 什么是无尘概念？ 按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 如表1所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。 表1 A级 B级 C级 粒径 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 个数 ≤3500 ≤10000 ≤18000 无 尘 车 间 的 概 念 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室的构成、结构 洁净室的构成： 在洁净室的设计过程中，要考虑三个要素：第 一是房间的结构，材料选择和空气处理系统（包含过滤系统、空调系统），第二是选择洁净室的附属设备，如风淋室、传递箱、洁净工作棚、洁净工作台等。第三是使用者的教育、管理及保养问题。 一个品质良好的洁净室需以下各组成部分： 1. 天花板系统：包括吊杆、钢梁、天花板格子。 2. 空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风机、送风口、回风口。 3. 隔墙工程：净化窗户（包括观察窗）、净化安全门。 4. 地板：包括高架活动地板、PVC 防静电地板、环氧树脂地坪。 5. 照明器具：包括日光灯、颜色灯。 无尘车间温湿度、噪声、风速、换气次数等技术参数 无尘车间温湿度、噪声、风速、换气次数等技术参数 净化参数： 换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5P 平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃。 温度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。 噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。 结构材料： 1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。 2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。 3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。 4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。