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莫尔条纹的形成 光栅传感器的结构和工作原理 光栅传感器的工作原理 + - 位移 正弦波 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定 光栅传感器的结构和工作原理 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 ?=0, w1=w2 → B=? → 光闸莫尔条纹 当 ?=0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 莫尔条纹（Moire） 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信 号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * （3）电荷耦合器件（CCD） Charge—Coupled Devices 电荷耦合器件，又称CCD图象传感器，是一种大规模集成电路光电器件电荷耦合器件。具有光电转换，信息存储、延时、传输、处理等功能。 特点：集成度高、尺寸小、电压低（DC7～12V）、功耗小。 该技术的发展促进了各种视频装置的普及和微型化，应用遍及航天、遥感、天文、通讯、工业、农业、军用等各个领域 * * 这里的转移驱动脉冲就相当于刚刚提到的有序变化的电极电压 * 这里只讲述第二种方法，即 浮置栅放大器输出 方式。 这里面最重要的是CCD 片内放大器 * （2）光照特性 开路电压（负载电阻RL无限大时）曲线：光生电动势与照度之间的特性曲线，当照度为200lx时趋向饱和。 短路电流曲线：光电流与照度之间的特性曲线。 （2）光照特性 短路电流，指外接负载相对于光电池内阻而言是很小的。 光电池在不同照度下，其内阻也不同，因而应选取适当的外接负载近似地满足“短路”条件。 下图表示硒光电池在不同负载电阻时的光照特性。 从图中可以看出，负载电阻RL越小，光电流与强度的线性关系越好，且线性范围越宽。 0 2 4 6 8 10 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 I/mA L/klx ? 50Ω 100Ω 1000Ω 5000Ω RL=0 (3) 频率特性 光电池的频率响应就是指输出电流随调制光频率变化的关系。 图示为光电池的频率响应曲线。由图可知，硅光电池具有较高的频率响应，如曲线2，而硒光电池则较差，如曲线1。 20 40 60 80 100 0 I / % 1 2 3 4 5 1 2 f / kHz 1——硒光电池 2——硅光电池 （4）温度特性 光电池的温度特性是指开路电压和短路电流随温度变化的关系 由图可见，开路电压与短路电流均随温度而变化，它将关系到应用光电池的仪器设备的温度漂移，影响到测量或控制精度等主要指标，因此，当光电池作为测量元件时，最好能保持温度恒定，或采取温度补偿措施。 主要内容 4.1光电效应和光电器件 4.1.1 光电管（掌握原理，理解基本特性） 4.1.2 光电倍增管（掌握原理，理解基本特性） 4.1.3 光敏电阻（掌握原理，理解基本特性） 4.1.4 光电二极管和光敏晶体管（了解） 4.1.5 光电器件的应用 小结 主要内容 4.3 电荷耦合器件 4.3.1 电荷耦合器件的结构和工作原理 4.3.2 CCD图像传感器 4.3.3 图像传感器的应用 第四章 光电式传感器原理与应用 电荷耦合器件 基于CCD光电耦器件的输入设备：数字摄像机、数字相机、平板扫描仪、指纹机 4.3.1 电荷耦合器件的结构和工作原理 电荷耦合器件（Charged Couple Device)是一种大规模金属氧化物半导体集成电路器件。 1. CCD结构 CCD 是由规则排列的金属—氧化物—半导体（Metal Oxide Semiconductor,MOS）电容（光敏单元/像素）阵列组成。 4.3.1 电荷耦合器件的结构和工作原理 图4.3.1 MOS电容的结构 1．金属 2．绝缘层SiO2 2. 电荷耦合器件的工作原理 CCD 光信息 电脉冲 脉冲只反映一个光敏元的受光情况 脉冲幅度的高低反映该光敏元受光照的强弱 输出脉冲的顺序可以反映一个光敏元的位置 完成图像传感 4.3.1 电荷耦合器件的结构和工作原理 CCD的