第二篇11电子探针显微分析.pptVIP

材料现代测试方法 电子探针显微分析 X射线能谱图上，峰位表示X射线的能量，峰高则反映X射线的强度。 根据峰位（特征X射线的能量）可以检测出试样中存在何种元素，即进行化学成分定性分析。 根据峰的高度（特征X射线的强度）可对试样中的元素进行定量和半定量分析。 材料现代测试方法 电子探针显微分析 材料现代测试方法 电子探针显微分析 材料现代测试方法 电子探针显微分析 11.4 波谱仪与能谱仪的比较 和波谱仪相比，能谱仪具有以下几方面的优点： (1) 能谱仪探测X射线的效率高。 因为Si(Li)探头可以安放在比较接近样品的位置，因此它对X射线源所张的立体角很大；此外，X射线信号直接由探头收集，不必通过分光晶体衍射，不存在衍射导致的强度损失。Si(Li)晶体对X射线的检测率极高，因此能谱仪的探测效率比波谱仪高。 材料现代测试方法 电子探针显微分析 (2) 能谱仪分析速度快。 能谱仪可在同一时间内对分析点内所有元素的X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内就可以得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素的特征波长。 (3) 能谱仪的结构比波谱仪简单。 能谱仪没有机械传动部分，因此稳定性和重复性都很好。 (4) 能谱仪对样品的要求比波谱仪更低。 能谱仪不必聚焦，因此对样品表面没有特殊要求，适合于粗糙表面的分析工作。 材料现代测试方法 电子探针显微分析 但是，和波谱仪相比，能谱仪存在以下不足： (1) 能谱仪的分辨率比波谱仪低。 波谱仪的分辨率较高，约5~10 eV；而能谱仪的分辨率较低，在145~155 eV左右，能谱仪给出的波峰比较宽，容易重叠。 (2) 能谱仪可分析的元素范围比波谱仪窄。(波谱仪可以分析4Be~92U，能谱仪可分析11Na~92U ) 能谱仪Si(Li) 检测器的Be窗口限制了超轻元素特征X射线的测量，只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可以测定原子序数从4到92之间的所有元素。 材料现代测试方法 电子探针显微分析 (3) 能谱仪的谱失真比波谱仪更严重。 波谱仪不存在谱失真的问题；能谱仪造成谱失真的因素较多，如峰重叠、电子束散射等。 因此，能谱仪的探测极限（谱仪能测出的元素的最小百分浓度）要比波谱仪低。波谱仪的探测极限约0.01~0.1%，能谱仪的探测根极限为0.1~0.5%。 材料现代测试方法 电子探针显微分析 Dept. of MSE, CQU COLLEGE OF MATERIAL SCIENCE AND ENGINEERING CHONGQING UNIVERSITY 第十一章 电子探针显微分析 材料现代测试方法 电子探针显微分析 本章主要内容 11.1 电子探针的结构与工作原理 11.2 X射线波长分散谱仪 11.3 X射线能量分散谱仪 11.4 波谱仪与能谱仪的比较 11.5 电子探针的基本功能 11.6 电子探针对试样的要求 材料现代测试方法 电子探针显微分析 材料现代测试方法