08_第八讲_扫描电子显微_090410综述.pptVIP

发展历史 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理 1938年，Ardenne开始进行实验研究 到1942年，Zworykin.Hill制成了第一台实验室用的扫描电镜 1963年，A.V.Grewe将研制的场发射电子源用于扫描电镜，该电子源的亮度比普通热钨丝大103-104倍，而电子束径却较小，大大提高了分辨率。将这种电子源用以扫描透射电镜，分辨率达十分之几纳米，可观察到高分子中置换的重元素 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，实验室中制成扫描透射电子显微镜已达到优于0.5nm分辨率的新水平 2.1 扫描电镜工作原理、构造和性能 1、基本原理 由电子枪发射的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描 扫描图像形成 1.由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。 2.这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。 3.由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在显像管荧光屏上就出现一个亮点。 扫描电镜