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二次电子像 在扫描电子显微镜中，平面样品法线与入射电子束轴线之间夹角为样品倾斜角?，当入射电子电流ip为一定值时，二次电子电流is随?角增大而增大。若用二次电子产额(或称二次电子发射系数)?来表示每个入射的初始电子能激发出的二次电子数目，则 如果样品是由的四个小刻面A、B、C、D所组成的，由于?D ＞ ?A= ?C ＞ ?B 所以? D＞ ? A= ?C ＞ ? B，结果在荧光屏或照片上D小刻面的像最亮；A、C面的亮度相等，稍暗；B小刻面最暗。 随样品倾斜角?增大，入射电子束激发体积靠近、甚至暴露于表层，激发体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多。因此，样品表面尖棱(A)、小粒子(B)、坑穴边缘(C和D)等部位，在电子束作用下产生比样品其余部位高得多的二次电子信号强度，所以在扫描像上这些部位显示异常亮的衬度。 原子序数衬度 背散射电子产额随元素原子序数Z的增大而增大。样品表面平均原子序数较大的区域，产生较强的信号，在背散射电子像上显示较亮的衬度。因此，根据背散射电子像(成分像)亮暗衬度可以判别对应区域平均原子序数的相对高低。 吸收电子也是对样品中原子序数敏感的一种物理信号。由入射电子束与样品的相互作用可知，在一定的实验条件下，入射电子的电流一定，吸收电流与背散射电子电流存在互补关系： Ia= Ii – I