多晶硅合成工段介绍.pptxVIP

（合成工段）; 液氯汽化 氯化氢合成 三氯氢硅合成;1、液氯汽化单元 1.1物料性质 1.1.1物理性质： 分子式：Cl2 分子量：70.906 氯是元素周期系第ⅦA族元素，原子序数17，原子半径0.099nm，Cl-离子半;0.181nm。氯在自然界中主要以钾、钠、钙、镁的无机盐形式存在于海水中，其中以氯化钠含量最高。 氯气溶解于水，在水中溶解度随温度升高而降低。在标准状况下，氯气比重为3.214，常压下纯氯气在-34.5℃就可以液化成液氯，常温下（25℃），6—8大气压下被液化成液氯。 ; 液氯是黄色透明液体，在0℃时液氯比重为1.47,相当于457L标况下氯气,常压下液氯在-103℃被凝固成固态氯。 氯气对空气的相对密度为2.45，比空气重，泄漏的氯气常常滞留在地面，不容易散发。; 液氯/氯气为剧毒物质，氯气在空气中的最大允许浓度为1mg/m3。毒性危害程度等级为Ⅱ级，属高度危害，能严重刺激皮肤、眼睛、粘膜；高浓度时，有窒息作用；可引起喉肌痉挛、粘膜肿胀、恶心、呕吐、焦虑和急性呼吸道疾病，如咳嗽、咯血、胸痛、呼吸困难、支气管炎、肺水 ;1.1.2、化学性质: 氯的化学性质非常活泼,单质具有强氧化性,在一定条件下,氯能够与所有的金属及大部分非金属反应。 （1）氯气与氢气的反应： Cl2+H2 光 照 2HCl; 氯气与氢气的混合物在常温下缓慢的化合，但在强光照射时反应加快，甚至会发生爆炸反应，混合物爆炸极限为：5—87.5%（含氢气体积比）。 （2）氯气与水的反应： Cl2+H2O HClO+HCl HClO→HCl+[O] ; 此反应为歧化反应，是可逆反应，加酸能抑制氯气的水解，加碱则促进水解。生成的次氯酸不稳定，分解成HCl和新生态氧[O]，新生态氧[O]是强氧化剂，对金属的腐蚀性很强。;（3）氯气与氨的反应： 6Cl2+12NH3　 9NH4Cl+NCl3+N2 （4）氯气与有机物反应: 3Cl2+C6H6 光 照 C6H6Cl6(加成反应)。 ; （5）氯气与碱反应： 氯气与碱溶液的反应实际上是，首先与水反应，生成的盐酸和次氯酸再与氢氧根发生酸碱中和反应生成氯化盐和次氯酸盐： CL2 + H2O＝HCL + HClO H+ + OH-＝ H2O ;1.1.3用途: 氯气的用途极为广泛，以下仅述其主要用途： (1)、杀菌消毒: 如:自来水、游泳池、鱼肉等的消毒。 (2) 、漂白与制浆： 如：纸浆与棉花纤维以及化学纤维的漂白，氯化纸浆的制造等。; (3)、矿石的精炼： 如：镁的冷冻和精制，钛、硅、锆等制成氯化物然后还原成金属。 (4)、制造无机氯化物： 如：制盐酸、漂白粉、氯化硫、三氯化磷、五氯化磷等。 (5)、制有机氯化物： 如：农药、有机溶剂、合成橡胶等。;1.2工艺原理 1.2.1液氯汽化 利用液氯在20℃时的饱和蒸汽压为0.6864Mpa.A，用热水加热液氯，使其在24.5℃下汽化，得到工艺要求的氯气压力。 液氯钢瓶内压力需高于汽化器压力，液氯才能顺利流入汽化器，故钢瓶内压力应控制在0.69Mpa.G，其对应温度约26℃。 ; 变温吸附的基本原理是利用吸附剂对吸附质在不同温度下有不同的吸附容量，并且在一定的吸附温度下对被分离的气体混合物的各组份又有选择吸附的特性，低温吸附除去原料气中杂质组份，加温脱附这些杂质而使吸附剂获得再生。; 因此，采用多台吸附床，循环地变动所组合的各吸附床温度，就可以达到连续分离气体混合物的目的。 TSA法脱除氯气中水分，即利用所选择吸附剂在一定的吸附操作温度下，选择吸附水而使气体得以净化。当吸附床温度升高时，被吸附的组份就得以解吸，并使 ;吸附剂得以再生，使吸附床按一定的顺序变动温度就组成连续分离气体混合物的 TSA 装置。整个操作过程在入塔原料气压力和温度下进行。 A. 吸附剂的再生通过四个步骤完成： （1）．吸附塔温度升至高温：首先逆着吸附方向用高温氮气将温度升高到规定温度；; （2）．逆着吸附方向用高温氮气将吸附剂中水分带出塔外； （3）．用冷氮气冷却吸附床； （4）．吸附塔被产品气加压到吸附压力，以准备再次吸附分离原料气。 ; B. 吸附器工作过程 每个吸附塔在一次循环中需经历：吸附、逆放、置换 P1、加热、冷却 C1、置换 P2、产品气再加压、冷却 B