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;? 光学显微镜的优势
? 光学显微镜的劣势;英国研制出最强光学显微镜;显微镜能力的大大提高意味着科学家可以观察人体细胞的内部, 而且首次做到可以观察活体病毒,进而查明引起病毒发生的原因。 在这个新设备的帮助下,科学家可以更好地解释许多疾病引发传 染和引起死亡的原因,从而打破了光学显微镜的理论限制。;;;第二代 电子显微镜;? 20世纪三十年代早期卢斯卡(E.Ruska)发明了电子显微镜
,使人类能“看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜
一起成了微电子技术的基本工具。
? 常用的有扫描电子显微镜和透射电子显微镜。与光学显微镜 相比电子显微镜用电子束代替了可见光,用电磁透镜代替了 光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。;;;? 电子显微镜的分辨本领仍远远优于光学显微镜。 光学显微镜的最大放大倍率约为2000倍,而 现代电子显微镜最大放大倍率超过300万倍, 所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金 属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。;;;;;;;;? 在电子显微镜中样本必须在真空中观察,因此无法观察 活样本。随着技术的进步,环境扫描电镜将逐渐实现直 接对活样本的观察。
? 超薄样品(100nm以下),制样过程复杂、困难,制样
有损伤;
? 电子束可能通过碰撞和加热破坏样本;
? 电子显微镜购买和维护的价格都比较高。;第三代 扫描探针显微镜;;;? 1981年比尼格和罗勒尔发明了扫描隧道显微镜(STM,;;;? 首先,SPM具有极高的分辨率。它可以轻易的“看到”原子,
这是一般显微镜甚至电子显微镜所难以达到的。
? 其次,SPM得到的是实时的、真实的样品表面的高分辨率图像。 而不同于某些分析仪器是通过间接的或计算的方法来推算样品 的表面结构。
? 再次,SPM的使用环境宽松。电子显微镜等仪器对工作环境要
求比较苛刻,样品必须安放在高真空条件下才能进行测试。而
SPM既可以在真空中工作,又可以在大气中、低温、常温、高
温,甚至在溶液中使用。;? 由于其工作原理是控制具有一定质量的探针进行扫描成像,因 此扫描速度受到限制, 测试效率较其他显微技术低;
? 由于压电效应在保证定位精度前提下运动范围相对较小(目前 难以突破100μm量级),而机械调节精度又无法与之衔接, 故不能做到象电子显微镜的大范围连续变焦,定位和寻找特征 结构比较困难;
? 扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度有较高的要求; 目前扫描探针显微镜中最为广泛使用管状压电扫描器的垂直方 向伸缩范围比平面扫 描范围一般要小一个数量级,扫描时扫描器随样品表面起伏而伸缩,如果被测样品 表面的起伏超出了扫描器的伸缩范围,则会导致系统无法正常甚至损坏探针。
? 由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时的运动轨迹来推知 其表面形貌,因此,探针的几何宽度、曲率半径及各向异性都 会引起成像的失真。;;;3.4 扫描电子显微镜;;? 用聚焦电子束在试样表面逐点;机构组成;扫描电子显微镜的应用;观察纳米材料;;科学与艺术的完美结合;;;;SEM能够直接观察直径 100mm,高50mm,或 更大尺寸的试样,对试样 的形状没有任何限制,粗 糙表面也能观察。;;;
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