离子注入SOI与SOI基准三维光子晶体的研究.pdf

目录 中文摘要………………………………………………………………………………I ABSTRACT…………………………………………………………………………………………………．．IV 符号说明……………………………………………………………………………VII 第一章绪论…………………………………………………………………………．1 1．1引言……………………………………………………………………………………．1 1．2SOI材料简介…………………………………………………………………．．2 1．3光子晶体材料简介……………………………………………………………．6 1．4本论文的主要研究内容………………………………………………………14 第二章离子注入与分析技术………………………………………………………16 2．1离子注入技术…………………………………………………………………17 2．21．7MV串列加速器…………………………………………………………．．22 2．3卢瑟福背散射／沟道分析技术………………………………………………．23 第三章光子晶体理论及制备方法…………………………………………………30 3．1平面波展开法(PWE)……………………………………………………一31 3．2．时域有限差分法(FDTD)…………………………………………………35 3．3光刻刻蚀技术…………………………………………………………………40 3．4聚焦离子束技术………………………………………………………………46 第四章稀土离子注入SOI的射程分布……………………………………………49 4．1 SOI样品的品质检测………………………………………………………．50 4．2稀土离子注入SOI的射程分布……………………………………………53 4．3稀土离子注入SOI的横向分布……………………………………………69 第五章稀土离子注入SOI的晶体损伤分布及退火行为…………………………77 5．1 稀土离子注入SOI的晶格损伤……………………………………………78 5．2 Er离子注入SOI的退火行为………………………………………………81 第六章Er离子注入SOI的光致发光……………………………………………．．88 6．1 Er、O共注入的SOI样品退火后的光致发光……………………………89 6．2 Er注入的SOI样品在02和N2气氛退火后的光致发光…………………90 第七章SOI基准三维平板光子晶体的带隙和波导………………………………92 7．1 SOI基准三维平板光子晶体的制备………………………………………．92 7．2 SOI基准三维平板光子晶体的带隙………………………………………．98 7．3 SOI基准三维平板光子晶体的波导传输…………………………………108 第八章总结………………………………………………………………………．114 8．1主要结果……………………………………………………………………．115 8．2主要创新点…………………………………………………………………118 参考文献……………………………………………………………………………119 致谢……………………………………………………………………………………………………………126 攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励……………………………………127 附外文论文…………………………………………………………………………129 CoNTENTS Chinese)…………………………………………………………………………………………I Abstract(in Abstract fin English)………………………………………………………………………………………．IV List………．．………．．…．……．…．……．．…．………．．…．．………………………．……．………．．VIII Symbol 1 Preface．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．1 Chapter 1．1Introduction．．．．．．．．．．．．．．