压电陶瓷的压电系数.ppt

第5章 压电式传感器 概述 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。 当某些材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图5-1所示。 压电材料 压电材料的主要特性参数有：  （1） 压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2） 弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3） 介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 (4） 机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换 压电材料 输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根； 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻压电材料的绝缘电阻：将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6） 居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。 压电材料 压电材料可以分为两大类 压电晶体——晶体 压电陶瓷——极化处理的多晶体 石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料 都具有较大的压电常数，机械性能良好，时间稳定性好，温度稳定性好等特性，是较理想的压电材料。 压电材料 一、石英晶体 石英晶体化学式为SiO2（二氧化硅），是单晶体结构 它的转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 压电材料 压电材料 天然结构定义 x：两平行柱面内夹角等分线，垂直此轴压电效应最强。称为电轴。 y ：垂直于平行柱面，在电场作用下变形最大，称为机械轴。 z ：无压电效应，中心轴，也称光轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械y方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 压电材料 若从晶体上沿y方向切下一块如图5-2（c）所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 式中： ——x方向受力的压电系数； ——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy，其大小为： 压电材料 压电材料 二、压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，从而使材料得到极化。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。如图5-4。 压电材料 当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成正比关系： 压电材料 上式中： d33—— 压电陶瓷的压电系数； F ——作用力。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。但极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化，从而使其压电特性减弱。 压电材料 ◆最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它是由碳酸钡和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的50倍，但使用温度较低，最高只有70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 ◆目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT系列），它有较高的压电系数和较高的工作温度。 ◆铌镁酸铅是20世纪60年代发