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纳米测量技术 纳米技术 纳米技术是21世纪最重要的科学技术之一；它将引起一场新的工业革命。 纳米技术是包括纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量、纳米物理、纳米化学等诸多科学技术在内的一组技术的集合, 其目的是研究、发展和加工结构尺寸小于100nm 的材料、装置和系统, 以获得具有所需功能和性能的产品。科技发达国家为抢占这一高新技术生长点、制高点, 竞相将纳米技术列为21世纪战略性基础研究的优先项目。 纳米测量技术 纳米测量技术是纳米技术的重要组成部分，它对于纳米材料的发展，纳米器件和系统的研究与开发具有十分重要的意义。 纳米测量技术的内涵涉及纳米尺度的评价、成份、微细结构和物性的纳米尺度的测量，它是在纳米尺度上研究材料和器件的结构与性能、发现新现象、发展新方法、创造新技术的基础。 纳米技术主要研究微观尺度的物体和现象，同时微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。与广义的测量技术相比，纳米测量技术具有被测量的尺度小以及以非接触测量手段为主等主要特点。 纳米测量技术的时代背景 随着科技不断进步，测量技术与工业生产技术相互促进、相互提高。可以说纳米测量正是顺应微电子工业集成电路制作、机械工业和国防工业超精密加工的需要而发展起来的。 鉴于纳米测量技术的重要地位, 国外, 特别是美、日、欧等国家均投入了相当大的人力和物力予以重点支持。1999年12月，美国