第四章高聚物X射线讲课.ppt

4.4 表面分析能谱法 优点及特点 ： ⑴固体样品用量小，不需要进行样品前处理，从而避免引入或丢失元素所造成的误分析 ⑵表面灵敏度高，一般信息深度?10nm ⑶分析速度快，可多元素同时测定 ⑷可以给出原子序数3-92的元素信息，以获得元素成分分析 ⑸可以给出元素化学态信息，进而可以分析出元素的化学态或官能团 ⑹样品不受导体、半导体、绝缘体的限制等 ⑺是非破坏性分析方法。结合离子溅射，可作深度剖析 应用范围 各种复合材料表面分析及界面分析 各种固体材料表面的成分分析及元素化学态分析 各种薄膜表面与界面分析 器件、产品质量分析及剖析 金属氧化与腐蚀 各种固体表面化学问题的测定,等等。 光电过程示意图 ? ? 外壳层 ? ? ? ? ? ? ? ? 内壳层 Ek = h