第九章长度计量(新)分析.ppt

计量几何量复合参量的仪器常用标准样板来校准。 标准样板的量值往往由标准装置确定。 标准装置通常是将复合参量分解为几个方向的长度或几个平面内的角度量后分别计量，然后求出这些量间的关系来确定复合参量。 9.4 工程参量计量 1、直线度计量标准 1）实物形式：平尺，工业上常用刀口直尺，检定刀口尺用平尺。 平尺的材料：钢、铸铁、花岗岩等，长度小于300mm的也用玻璃制造，称为长平晶。 2）自然形式：光 准直望远镜：计量几十m的距离，读数分辨率可达1μm 激光准直仪：也用于计量几十m内的直线度，分辨率可达0.2 μm * 准直望远镜 刀口尺 激光准直仪 2、平面度计量 用熔融石英制造的标准平晶稳定性好，可作为高精度的平面度标准。 平晶：长平晶、圆平晶（Φ45、 Φ60、 Φ80、 Φ100、 Φ150、 Φ300mm等）。 精度分二级，一级平晶平面度偏差不大于0.05μm，二级平晶不大于0.1 μm。 JJG 2019-1989 平面度计量器具检定系统 3、圆度和球面度计量 光学加工常用标准球面作为样板，半径小的以整球作为样板，半径大的只取一部分球作样板。 标准球：校验圆度及坐标测量机校准测头等。 对半径较大的球面样板，常用光学干涉法计量其球面轮廓度。 4、粗糙度计量 目视、放大镜或显微镜与样板比较 光切显微镜、干涉显微镜或电子显微镜 触针法 仪器用标准样板来检定或校准，多刻线（三角形、正弦形、梯形、混合形）、单刻线（V形、矩形）和磨削样板等 5、渐开线样板 渐开线检查仪用渐开线样板来校准或检定. 6、螺旋线样板 螺旋线常用于螺钉、传动丝杠、蜗轮、螺旋齿轮上。 计量螺旋线的仪器可用分别计量其轴向位移和转动角度的方法来检定，但用螺旋线样板更方便。 螺旋线样板本身是用能够分别显示旋转角和轴向位移的计量装置检定的。 检定螺旋线的不确定度为1-2 μm。 * * * 由两块材料和几何尺寸完全相同的平面平行玻璃按一定夹角胶合而成。 移向板 双管差动式光电显微镜对运动状态的刻线做精确瞄准。 位于显微镜成像面上的狭缝a1、a2宽度相同并等于刻线宽度象c。 光电倍增管位于狭缝后，其电信号位相差为180°，其差值为0表示刻线已被瞄准。 对准精度± 0.01~0.02μm。 用双频激光干涉仪检定装置进行检定 系统不确定度3μm（K=3），实验室温度变化控制在每小时0.5℃以内，可以检定/校准水准标尺（包括条形码标尺）、三等金属线纹尺等 。 仪器全貌 双频激光干涉仪 图像采集 数据自动采集与分析 英国 Renishaw xl-80 激光干涉仪 长度测量时需要一个长度干涉镜和两个角锥反射镜。 仪器布局 水平轴测量 垂直轴测量 用干涉仪检定三等金属线纹尺的示值误差： 1)在检定台上，将三等线纹尺沿与导轨平信的方向支承于贝塞尔支点上，0.2mm刻线面朝上，调整好，关闭照明，尺子恒温30min； 2）采集并输入光路的平均温度T、光路气压p、相对湿度f、三等线纹尺的平均温度T1、温度线膨胀系数α至数据处理系统； 3）用显微镜瞄准三等线纹尺零刻线，干涉仪清零，然后依次瞄准100mm、200mm，……，1000mm刻线并记录数据，此为往测，然后立即瞄准1000mm， 900mm，……，100mm及零刻线，进行返测。当显微镜再次瞄准零刻线时，干涉仪的读数（即回零）不得大于5μm。以上为第一测回； 4）重新调整尺子，关闭照明，尺子和仪器恒温月20min； 用干涉仪检定三等金属线纹尺的示值误差： 5）采集并输入T、p、f、T1的值； 6）按第一测回的检定程序完成第二测回的检定。两测回的平均值即为检定结果。 7）将0.2mm刻线面调换为1mm刻线面，并调整好，关闭照明，尺子恒温月30min； 8）1mm刻线面检定程序与0.2mm刻线面检定程序基本相同，但只检定全长，即只对零刻线和1000mm刻线进行瞄准读数。1mm刻线面同样检定2测回，取两测回的平均值为1mm侧线面的检定结果。两测回可连续进行。 1、量块的测量面 （二）长度（量块）的量值传递 2、量块的精度等级 量块按制造精度分为0、1、2、3和校准级K级，其中k级精度最高 按检定精度分为1、2、 3、4、5等，其中1等精度最高。 量块分级的根据是量块中心长度的允许偏差、平面平行性及研合性质；量块分等的根据是量块中心长度测量的极限误差、平面平行性及研合性质量。 量块按级使用时，用其中心长度的公称尺寸，因此测量结果中包含了量块实测尺寸对其公称尺寸的偏差，即中心长度的制造偏差。 量块按等使用时，用其中心长度的实测尺寸，因此测量结果中包含了实测尺寸对其真实尺寸的偏差，即中心长度的测量误差。 量块精度分级又分等，其目的就是借助高精