转子悬浮式微静电机的检测电路设计.docVIP

更多电子资料请登录赛微电子网 转子悬浮式微静电电机的检测电路设计* 陈 喆 韩丰田 (清华大学精密仪器及机械学系, 北京 100084) 摘 要: 静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来, 具有极高的工作寿命, 可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动, 然后借助于悬浮控制系统来实现转子的五自由度有源静电悬浮。文中介绍了基于公共激励电极方案的微位移检测电路, 并进行了设计仿真和实验测试。仿真分析和实验测试表明, 设计的电容式位移检测电路可用于MEMS微静电悬浮电机的悬浮控制系统。 关键词: 微位移检测；静电悬浮电机；差动电容传感器；微机电系统 中图分类号: TH133.3; U666.12　　　文献标识码: A　　　国家标准学科分类代码: 460.4099 Electronic interface design for electrostatic micromotor with levitated rotor Chen Zhe Han Fengtian (Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China) Abstract: Micromotors with the electrostatically levitated rotor in electrode cavity behave long duration of operation, and can be used as a dual-axis gyro or a force-balanced tri-axis accelerometer. The position of the rotor in those electrostatic levitation-based micromotors is usually detected by sensing the differential rotor-electrode capacitance and further fed back to multi-axis active levitation control loop with an aim to keep stable suspension of the rotor. In this paper, theoretical analysis and experimental data of a capacitive position sensing interface based on common excitation-electrode scheme is presented for an electrostatic levitation-based micromotor. The simulation and experimental performance indicate that the proposed capacitive interface circuit can be used to achieve multi-axis electrostatic suspension of the rotor for such micromotors fabricated by MEMS technology. Keywords: capacitive position sensing; electrostatic levitation; differential capacitance sensor; MEMS 1 引 言 静电电机不使用磁铁, 不需要线圈, 结构简单, 容易实现微型化。随着MEMS加工工艺逐渐成熟, 解决了静电电机的机械加工精度问题, 同时转子与定子的间隙大大缩小, 使得工作电压得以大幅度降低。与其他类型的微型电机相比, 静电电机具有与IC工艺兼容、转速高、控制简单等优点, 具有广阔的应用前景[1]。静电悬浮式静电电机利用可控的静电力, 将转子无接触、无摩擦地悬浮在超高真空的定子电极腔中, 消除了机械摩擦和磨损, 具有极高的工作寿命。对微电机结构进行真空封装后易于获得很高的转速, 可用作双自由度角速率陀螺或三轴线加速 度计[2]。 转子悬浮式静电电机需要精确检测转子在定子电极腔内的运动来实现多自由度的有源静电悬浮[3]。由于静电悬浮电机的转子无法直接引线, 所采用的位移检测方案与传统的差动电容式传感器有所不同。日本东北大学研制的微静电陀螺采用频分复用的检测方案[4], 在各个自由度