雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册精编.doc

镭射干涉仪操作手册 手 册 内 容 一.RENISHAW 公司简介 1 二.镭射干涉仪原理 2 (1)波的速度 3 (2)干涉量测原理 3 (3)镭射干涉仪 4 (4)镭射干涉仪一般量测项目 4 三.注意事项 5 四.镭射干涉仪防止误差及保养 5 (1)镭射干涉仪防止误差 5 (2)镭射干涉仪保养方法 6 五.安全及注意事项 6 六.镭射光原理及特性 7 七.镭射硬件介绍 8 八.镭射架设流程图 15 九.定位量测原理及操作 16 (1)线性定位量测原理 16 (2)量测方式 17 十.镭射易发生之人为架设误差 20 (1)死径误差 20 (2)余弦误差 21 (3)阿倍平移误差 21 十一.镭射操作之步骤 22 (1)软件安装之步骤 22 (2)执行量测软件 22 (3)定位量测硬件架设之操作 23 (4)镜组架设前之注意事项 24 (5)镜组架设之步骤 24 十二.定位量测之程序范例 29 十三.定位量测之软件操作步骤 30 热漂移量测 38 快速功能键 44 十四.动态软件量测之操作 45 (1)动态量测硬件之架设 45 (2)执行量测之软件 46 (3)位移与时间 48 (4)速度与时间 49 (5)加速度与时间 50 十五.角度量设之操作 52 (1)注意事项 52 (2)镜组架设的种类 53 (3)镜组架测之步骤 54 (4)角度量测之软件操作步骤 57 十六.RX10旋转轴之量测 62 (1)说明 62 (2)硬件配件之介绍 62 (3)硬件操作之步骤 64 (4)软件操作之步骤 67 十七.直度量测之操作 75 直度之分类 75 直度量测之硬件架设 75 镜组架设之步骤 75 直度软件之操作步骤 80 十八.Z轴直度镜组织架设方法 85 十九.垂直度量测之操作 89 垂直度镜组架设之步骤 89 软件操作之步骤 95 二十.平面度量测之原理与操作 101 硬设备 101 操作之原理 102 镜组架设之步骤 102 软件操作之步骤 110 RENISHAW 公司简介 RENISHAW为一家英国公司,产品营销全世界,主要产品有三次元量床之测头、测针、BALLBAR循圆测试仪、镭射干涉仪????????等等及产品经NPL(英国国家标准)认证为ISO 90