熔合岗位培训研讨.pptVIP

熔合岗位操作培训 主要内容 一、主要炉管 二、熔合站作业内容 1.熔合内容 2.熔合操作及注意事项 3.RS测试 4.晶片背金熔合后的厚度测量 三、熔合站与上下站的联系 一、熔合炉管 炉管名称：程控三管合金炉 厂 家：青岛旭光 炉管名称：氧化扩散系统 熔合站作业内容熔合内容 1 . ITO熔合 位置：二号炉管 温度：480℃ 时间：20分钟 熔合内容 2. 正金熔合 位置：二号炉管 温度：480℃ 时间：20分钟 熔合内容 3 .背金熔合 位置：二号炉管 温度：480℃ 时间：20分钟 熔合内容 4 .温筛 位置：一号炉管 温度：280℃ 时间：5分钟 熔合内容 5 .氧化 位置：五号炉管 温度：420℃ 气体流量：1 SLM 源温：93° 时间：8mil 25min 9mil 35min 12mil 45min 熔合内容 熔合内容 熔合操作 上片：将片子从传递盒里按顺序放入石英舟的各卡槽里，一片一槽。（参考方法：石英舟尖头处曹右放，从最左边开始，由外向里（靠近自己的方向）放片） 放片：打开相应的炉门，取下石英帽，将载有晶片的石英舟放进炉口，尖头处曹外，然后用钩棒勾住尖头水平推钩棒直