自动检测与转换技术研讨.ppt

自动检测与转换技术 物理及电子工程学院 杨恒 Tel: E-mail: shanksyoung@ 第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器工作原理及分类 4.2 测量电路 4.3 电容式传感器的应用 电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器，它具有结构简单、分辨率高、抗过载能力大、动态特性好；且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 电容式传感器可用于测量压力、位移、振动、液位、厚度。 电容式传感器 工作原理 平行板电容器是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的，其电容量与绝缘介质的介电常数 、极板的有效面积S以及两极板间的距离d有关，即 电容式传感器 可见：在S、d、ε三个参量中，改变其中任意一个量，均可使电容量C改变。也就是说，如果被检测参数(如位移、压力、液位等)的变化引起S、d、ε三个参量中之一发生变化，就可利用相应的电容量的改变实现参数测量。据此，电容式传感器可分为以下三大类： (1) 极距变化型电容传感器； (2) 面积变化型电容传感器； (3) 介质变化型电容传感器。 4.1 电容式传感器工作原理 4.1.1 变面积式电容传感器 变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。 1．直线位移