Fe-Si化合物薄膜的晶体结构(本科毕业论文)论述.doc

本科毕业论文（设计） 论文（设计）题目：Fe-Si化合物薄膜的晶体结构分析 学 院： 电子信息学院＿ 专 业： 电子科学与技术 班 级： 电技101＿＿＿ 学 号：＿1007010024＿＿ 学生姓名：＿＿郑燚＿＿＿＿ 指导教师：＿＿张晋敏＿＿＿ 2014年 5 月 20日 目 录 摘 要 II Abstract III 第一章 Fe-Si化合物的研究背景和基本性质 1 1.1 研究背景 1 1.1.1 Fe-Si化合物的研究意义 1 1.1.2 Fe-Si化合物的研究现状 2 1.2 Fe-Si化合物基本性质 3 1.2.1 Fe-Si化合物的相图 3 1.2.2 Fe-Si化合物的光学性质 4 1.2.3 存在的问题 4 1.3 Fe-Si化合物的制备方法 5 1.3.1 分子束外延 6 1.3.2 固相反应淀积法 6 1.3.3 磁控溅射法 6 1.3.4 制备方法的比较 8 第二章 Fe-Si化合物薄膜样品的制备 9 2.1 制备仪器 9 2.1.1 磁控溅射仪 9 2.1.2 高真空退火设备 10 2.2 实验准备工作 11 2.2.1 实验材料及条件 11 2.2.2 Fe靶的清洗 11 2.2.3 Si基片的清洗 12 2.3 样品制备过程 12 第三章 14 3.2 退火时间