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纳米制造之扫描探针显微镜 --微观世界的探索 组员： 神奇的纳米结构(nanostructure) 国外纳米技术进展 朗讯公司和牛津大学: 纳米镊子 碳纳米管“秤”，称量一个病毒的重量 称量单个原子重量的“纳米秤” 纳米科技的战略地位 21世纪前20年，是发展纳米技术的关键时期，纳米技术将成为推动社会经济各领域快速发展的主导技术。目前，纳米技术已经成为全世界非常关注的技术，纳电子代替微电子，纳加工代替微加工，纳米材料代替微米材料，纳米生物技术代替微米尺度的生物技术。只有认识它、发展它，才有可能在未来经济竞争的格局中占据主动。 纳米技术的支撑 —扫描隧道显微加工技术 扫描隧道显微STM (Scanning Tunneling Microscope) 加工技术是纳米加工技术中的最新发展，可实现原子、分子的搬迁、除、增添和排列重组，可实现极限的精加工，原子级的精加工。 扫描显微镜的发展历程  三代显微镜的观察范围及典型物体 扫描隧道电子显微镜1981年，IBM公司的G. Binning和H. Rohrer根据电子的隧道效应发明了扫描隧道电子显微镜（Scanning Tunneling Microscope, STM），获1986诺贝尔物理奖。目前，人们可以利用扫描隧道电子显微镜来观察原子、分子和直接操纵安排原子。至今，具有最高的分辨率。Z轴分辨率达到0.01 nm。 扫描隧道显微镜（STM）是如何工作的？ 硬件架构：在原子力显微镜(AFM)的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。 AFM的缺点 敲击模式的优越性： 敲击模式尽管没有接触模式的分辨率高，但是敲击模式在一定程度上减小样品对针尖的粘滞现象，因为针尖与样品表面接触时，利用其振幅来克服针尖-样品间的粘附力。并且由于敲击模式作用力是垂直的，表面材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较小，减小扫描过程中针尖对样品的损坏。所以对于较软以及粘附性较大的样品，尽量选用敲击模式。 力检测部分：???????在原子力显微镜(AFM)的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微悬臂(cantilever)来检测原子之间力的变化量。这微悬臂有一定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。 位置检测部分：???????在原子力显微镜(AFM)的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂(cantilever)摆动，所以当激光照射在cantilever的末端时，其反射光的位置也会因为cantilever摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供控制器作信号处理。 反馈系统：??????? 在原子力显微镜(AFM)的系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持合适的作用力。 原子力显微镜(AFM)便是结合以上三个部分来将样品的表面特性呈现出来的：在原子力显微镜(AFM)的系统中，使用微小悬臂(cantilever)来感测针尖与样品之间的交互作用，测得作用力。这作用力会使cantilever摆动，再利用激光将光照射在cantilever的末端，当摆动形成时，会使反射光的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整，最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。 原子力显微镜的应用 AFM可以满足多种不同样品的要求，用于多种系统的成像 量子点 生物分子 多聚体 单体的自组装 原子力显微镜对金的观测 烟草花叶病毒扫描图 沉积于云母片上的抗体分子的 AFM成像。空气中，室温。由于抗体分子沉积于支持物的方向不同，而表现出几种形态。 受样品因素限制较大（不可避免）. 针尖易磨钝受污染（磨损无法修复；污染清洗困难）. 针尖—样品间作用力较小. * * 人高 20亿 纳米 100万 纳米 针头 红血球 分子及DNA 1千 纳米 1 纳米 0.1 纳米 氢原子 Earth 1.2 x 107 m In Greek, “nano” means dwarf 纳米是一个长度计量单位，1纳米 = 10-9 米。 什么是纳米(nanometer)？ 纳米结构是以纳米尺度的物质单元为基础，按一定规律构筑或组装一种新的体系，它包括一维、二维和三维体系。 人工组装合成的纳米结构的体系 纳米齿轮 纳米轨道状 美国军方日前公布了取名为“毫微科技战士”研