第五章电子透镜的像差说课.ppt

电子光学 第五章 电子透镜的像差 结论 电子离子加速电压越高，波长越短，衍射限定的最小分辨距离越小。 同一加速电压下，离子比电子具有更短波长，因而有更小分辨率。 衍射限定的分辨率反比于粒子束角。由于球差和色差，电子离子光学仪器常采用很小的孔径角。因而，由衍射限定的分辨本领往往比粒子波长大得多，甚至大几个数量级。这是明显区别于光学透镜的。 该式为二阶非齐次线性微分方程，其特解可以通过拉格朗日变系数法求得 上式是旋转坐标系内解，在实验室坐标系应有： 旋转角度为： 因此 而色差可以表示为 由于，考虑到高斯轨迹方程为 可得由于能量分散引起的色差为： 而 4. 中心色差（像位色差） 式中 项为中心色差，或像位色差，而 称为中心色差系数。通过一定的变换可以 写为 中心色差是由于透镜对不同速度的电子，具有不同的焦距，使成像位置不同引起 的色差，如：物点处在轴上，大部分电子会聚在高斯像面上的一点P1，而部分速 度较低的电子，通过透镜的时间长，聚焦作用强，焦距短，在高斯像面前会聚于 轴上一点P2，P1-P2之间投影在高斯像面上既为一散射圆斑，形成了像差。 显然，中心色差与球差一样，它可导致成像的不清晰，模糊圆半径正比于光阑半径 及能量分散， 中心色差系数始终为大于零的正值，因此也是不可消除的像差，谢尔赤描述为： 在静的，旋转对称的，无空间电荷的成实像的圆透镜中，中心色差总是大于零， 因而不能消除。 由于激磁电流的不稳定，引起附加的中心色差， 3. 横向色差（放大色差） 物点在轴外时，存在比例失真的放大色差。对于不同的速度电子，透镜的成像放大率不同，如轴外一点P，发出的二个不同速度的电子，将有两个不同的焦点F1和F2，成像于P1和P2点，在P1和P2点之间形成了一条长为P1-P2的模糊线，离轴远的轨迹，其放大率较大，离轴近轨迹，其放大率较小，形成了横向色差，P1-P2形成了像差的散射圆。 项称为横向色差或放大色差，而 称为横向放大系数。 只考虑电场变化引起的项为 当考虑激磁电流变化时，引起的附加项为 5. 各向异性像差（转角像差） 在磁透镜中，像转角随电子的速度而不同，由此产生的像差，为转角像差。其系数为 ，由转角色差引起的像差为 中心色差造成的像点变为模糊圆斑，放大色差造成的模糊圆斑中心位移，位移方向 于半径方向相同。各向异性像差造成上述位移方向的倾斜，对半径的倾角为 5．减小色差的措施 （3）提高电源的稳定度。 减小色差必须减小电子通过透镜时的速度能散度，可以采用以下措施： （1）采用工作温度低，发射率高的阴极，以减小初始速度； （2）提高加速电压，增加电子速度，使电子速度的变化率相对减小； 研究电子的波动现象而建立的理论为波动电子光学，由波动电子光学发展起 来的电子全息已成为当今科技世界中一个新的，非常有发展前景的领域。 下面从惠更斯-菲涅尔原理出发，对电子波动的圆孔光阑的夫琅和费衍射作简要介绍。 5-4衍射像差 前面讨论的电子光学像差的基本原理是建立在电子的粒子性假设上，把电子 看成为质点，运用质点运动方程求解。 由于其类似几何光学，因此，其像差称为几何像差，但几何像差不能完全 解释电子光学仪器的局限分辨率。 而电子在电磁场中传播还具有另外一个特性-波动性。 由电子的波产生的衍射现象与波动光学一样，可以解释电子光学仪器的分辨 率局限问题。 为 按照德布罗意假设，电子波的波长 式中 为普朗克常数，在非相对论情况下，则有 或 （纳米） 为电子的静止质量， 为规范化电位。当 时， 电子光学仪器的分辨率。 =0.0037纳米，可见电子波长比可见光短几个数量级，因而可大大提高 1. 惠更斯-菲涅尔原理 根据惠更斯假说，波阵面上的每一个点均可看作产生球面子波次级波源， 后面任何时刻的波阵面都是由这些子波所形成的包络。 菲涅尔补充惠更斯假说，假定这些次级波相互干涉，则产生衍射现象。 如从点源 发出一个单色波，通过一个光阑孔，设孔径大于光波波长，小于 以及待求点 到屏上的距离，到达 点的扰动光波为： （基尔霍夫） 2．圆孔光阑的夫琅和费衍射 当平行电子束垂直通过一个圆孔光阑时，在光阑后面的屏幕上，出现明暗交叉 的圆环条纹，这就是圆孔光阑的夫琅和费衍射想象。 由于旋转对称性，在夫琅和费衍射条件下，即衍射与圆孔的距离比圆孔直径大的 多时，可直接应用菲涅尔-基尔霍夫公式 如下图，圆孔左边的平行电子束视为平面波： 在光阑平面上，即z=0处， a为光阑孔径，在孔右边，任一点电子波函数是位于光阑平面处无数小面积元激励产生 的次级球面波的叠加，所以在衍射屏某点的波函数为 式中 为次级波传播方向与z轴夹角。 半径为 衍射线为： 积分范围为膜孔。 在夫琅和费衍射条件下，利用极坐标形式，可得波函数为： P点的衍射相对幅度为： 利用贝塞尔函数积分表示式 振幅公式可