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1. 为了测试微夹持器夹持物体的过程,对微夹持器施加0-5V的增量激励电压,并让其夹持750μm厚的微板。图5.11给出了5次平均以后夹持力与电压之间的关系,可以看出夹持力在没有接触微板之前为0,夹持微板后随着输入的不断增大,夹持力不断增加。图5-12给出了5次平均后的夹持位移与激励电压之间的关系,可以看出这是一条随电压变化的迟滞曲线。 2. 在观察微夹持器夹持过程中,采用VT-EX120CPGS USG工业相机,图5-13给出了微夹持器夹持前以及夹持过程中的捕捉图。 * * 设计要求要么放绪论那一章,要么在结构与工作原理里面单独提出来。 * 总结与展望 总结 展望 采用柔顺机构设计了一种压电驱动双摇杆式微夹持器,该微夹持器是两级放大机构,采用叠堆压电陶瓷作为驱动力,经过双摇杆机构和平行四边形机构放大后夹持微小物体 对微夹持器进行数学建模时,采用伪刚体建模法得到微夹持器的放大系数公式、静力学公式、动力学模态公式。同时为了对微夹持器的夹持力和夹持位移进行检测,采用在平行四边形机构柔性铰链处,柔性夹持臂根部粘贴应变片方法,经理论推导得出夹持力和夹持位移与粘贴处应变值的数学关系式。 对微夹持器进行有限元分析,包括静力学分析、模态分析、阶跃响应分析、频率响应分析、夹持力和夹持位移传感配置分析。 进行了相关实验测试,主要包括夹持力和夹持位移传感器标定,微夹持器输入输出位移曲线测试,微夹持器激励响应分析及夹持特性分析 由于微小物体对夹持力十分敏感,为了实现更好的控制效果,可以对夹持力进行闭合控制。同时考虑到驱动源—叠堆压电陶瓷具有迟滞效应,可以增加对压电陶瓷的控制模型分析。 在制作微夹持器原型之前,为了提高分析质量,可以采用压电耦合场分析,这样可以将叠堆压电陶瓷的受压迫变形考虑进去,有限元分析结果更具有参考性。 考虑到微小物体并不总是刚性体,也可能是弹性体,比如弹性小球,因此可以在数学建模中将这种情况考虑进去,提高建模精度。 浙江大学硕士学位论文答辩 答辩人:武敏 浙江大学现代制造工程研究所 谢 谢 大 家 ! 各位老师各位同学大家下午好,我是这次的答辩人武敏,导师是魏燕定教授,这次我的答辩题目是:压电驱动柔性双摇杆式微夹持器设计与性能研究。 * 这次答辩的主要内容包括以下6大部分,包括绪论、结构设计与数学建模、有限元仿真、测控平台搭建、实验研究以及总结与展望。 * 1.随着工业界和科学界的高速发展,微型化已经成为传统装备制造业、化工、生物医学等诸多领域的发展方向。 2.微机械或微机电系统(MEMS)在诸多领域表现出的极高应用价值,已经发展成为一个热门研究领域 3.微夹持器作为微机械或微机电系统的末端执行机构,直接与夹持对象进行接触。微夹持器的性能直接关系着微机械或微机电系统的性能。 * 我用的是伪刚体建模法和有限元分析法、压电驱动微夹持器、电阻式应变片 1.微夹持器通常是一种放大机构,用来夹持微小物体。传统的机构采用刚性体通过运动副连接来实现。将柔顺机构引入到微夹持器的设计中,可以极大缩小微夹持器整体尺寸,获得较好的综合性能。【过去对于柔顺机构的设计,常采用试凑法,这种方法工作量大且精度不高。】目前对柔顺机构的设计主要有伪刚体建模法、有限元法和拓扑优化法。 2.微夹持器作为一个执行机构是微机械或微机电系统的一个关键部件。微夹持器可以按照结构、制作工艺、驱动方式等进行分类。【驱动方式直接决定着微夹持器的性能,也是各研究机构重点的研究方向。】按照驱动方式的不同,微夹持器可以分为静电驱动式、压电驱动式、电磁式、热驱动式、真空吸附式、形状记忆合金式等 3.微夹持器正朝着高精度方向发展,为了适应这种要求,需要对微夹持器的夹持位移以及夹持力进行检测。目前应用在微夹持器中的夹持力传感器有五种:电阻应变式、电容式、压电式、压阻式、光电式。 * 设计要求要么放绪论那一章,要么在结构与工作原理里面单独提出来。 内容的第二部分是:压电驱动。。。。 1.微夹持器本质上是一个放大机构,由于夹持对象只有几百微米,并且在夹持过程中需要在显微镜下进行观察,所以微夹持器整体尺寸不能过大。为了使微夹持器能夹持不同直径的物体,需要微夹持器的输出输入位移比,也即放大系数不能太小。夹持过程中,为了保证夹持精度和夹持的有效性,需要对夹持力和夹持位移进行检测。微夹持器设计中,一个很重要的原则是,夹持中机构的极限应力应小于屈服应力。 2.伪刚体建模法是设计和求解柔顺机构的一种重要方法,其通过具有等效力-变形关系的刚体部件来代替柔性部件,这样就将刚性构件的相关理论引入到柔顺机构中,极大方便了微夹持器的设计。而微夹持器的数学建模,包括放大系数推导、静力学分析、动力学方程推导,都是基于伪刚体模型进行相关分析的。 * 【微操作和微装配领域中常常需要对微小物体进行夹持,这就限定着微夹持器整
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