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燕山大学 材料研究方法结课论文 学 院：环境与化学工程学院 专 业：化学工程与技术 学生 姓名： 学 号： 2015年12月 摘要 材料的现代分析方法是关于材料的成分、结构、微观形貌与缺陷等的现代分析、测试技术及相关的理论基础的科学。成分、结构、加工和性能是材料科学与工程的四个基本要素，成分和结构从根本上决定了材料的性能。材料现代分析、测试技术的发展，使得材料分析不仅包括材料 (整体) 成分、结构分析，也包括材料表面与界面分析、微区分析，形貌分析等诸多内容。材料分析的理论依据基本上是利用入射电磁波或物质波 (X射线、电子束、可见光、红外光) 与材料作用，产生携带样品信息的各种出射电磁波或物质波，探索这些出射的信号，进行分析处理，即可获得材料的组织、结构、成分、价键信息。微观结构的观察和分析对于理解材料的本质至关重要，其相貌的观察与分析主要采用扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 。本文着重介绍光学显微镜、X射线衍射分析、TEM、SEM、能谱 (EDS) 、俄歇电子分析 (AES) 和背散射的分析手段的原理与应用。 关键词 光学显微镜，XRD，SEM，TEM，EDS、AES、背散射 目录 摘要 I 第1章 光学 (金相) 显微镜 1 1.1 光学显微镜原理 1 1.1.1光学显微镜案例 2 1.2 金相显微镜原理 2 1.2.1 金相显微镜案例[2] 3 第2章 X射线衍射仪 5 2.1 X射线衍射仪原理 5 2.2 X射线衍射仪案例 6 第3章 扫描电子显微镜 (SEM) 7 3.1扫描电子显微镜 (SEM) 原理与结构 7 3.1.1真空系统 8 3.1.2电子光学系统 8 3.1.3信号检测放大系统 9 3.2扫描电子显微镜 (SEM) 案例 10 第4章 透射电子显微镜 (TEM) 11 4.1透射电子显微镜 (TEM) 原理 11 4.2透射电子显微镜 (TEM) 案例 12 第5章 能谱仪 (EDS) 13 5.1能谱仪 (EDS) 原理 13 5.2能谱仪 (EDS)案例 13 第6章 俄歇电子能谱显微分析 (AES) 15 6.1俄歇电子产生俄歇电子谱原理 15 6.2俄歇电子谱案例 16 第7章 电子背散射衍射分析 (EBSD) 18 7.1电子背散射衍射分析原理 18 7.2电子背散射衍射分析案例 19 参考文献 21 光学 (金相) 显微镜 显微镜是利用凸透镜的放大成像原理，将人眼不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角（视角大的物体在视网膜上成像大），用角放大率M表示它们的放大本领。因同一件物体对眼睛的张角与物体离眼睛的距离有关，所以一般规定像离眼睛距离为25厘米（明视距离）处的放大率为仪器的放大率。显微镜观察物体时通常视角甚小，因此视角之比可用其正切之比代替。显微镜由两个会聚透镜组成，光路图如图所示。物体AB经物镜成放大倒立的实像A1B1，A1B1位于目镜的物方焦距的内侧，经目镜后成放大的虚像A2B2于明视距离处。 光学显微镜原理 光学显微镜（Optical Microscope，简写OM）是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。光学显微镜一般由载物台、聚光照明系统、物镜，目镜和调焦机构组成。载物台用于放被观察的物体。利用调焦旋钮可以驱动调焦机构，使载物台作粗调和微调的升降运动，使被观察物体调焦清晰成像。它的上层可以在水平面内沿作精密移动和转动，一般都把被观察的部位调放到视场中心。 1.1.1光学显微镜案例 图1.3 HE染色(X400倍) (a)对照组细胞(b)实验组细胞 HE染色法是病理学技术中简单、可靠的常规染色方法。本实验[1]通过HE染色并应用光学显微镜，观察到了凋亡典型的细胞形态学变化：对照组细胞贴壁延展，呈多角形，分裂旺盛，细胞间连接紧密，一般有2-4个核仁，核分裂像多见图1.3(a)；实验组细胞连接变松，细胞核深染，细胞数变少，部分细胞变圆，可见染色质边集，细胞膜下呈深蓝的新月体形，也可见典型凋亡小体图1.3(b) [1]。 金相显微镜原理 利用金相显微镜来研究金属和